光电工程师社区

标题: 若扩散泵的油温若过低 [打印本页]

作者: fawang    时间: 2008-12-20 23:56
标题: 若扩散泵的油温若过低
扩散泵的油温若过低,此时却打开了阀门,会造成扩散泵这边的压力比前级管道压力大,油会到前级管道中去,是这样吗?为什么?能从原理上说明吗?会有什么危害吗?前级泵(旋片泵和罗茨泵)能抽走这些又吗?
作者: fawang    时间: 2008-12-22 15:04
哈哈,没人顶呀,各位大侠随便说说呀
作者: jhxxmlhk    时间: 2008-12-22 15:54
实际上应该不至于,经常在DP预热的时候就抽气了,没有返油。
作者: shjygx    时间: 2008-12-22 17:28
先开维持泵,一开始压力和油温无关。
作者: yzhuang    时间: 2008-12-22 21:19
个人认为,油温低一点开始阀门,影响应该不大,顶多开始时抽气抽不动,但如果初始真空度太低的话,返油的可能性更大一些
作者: 280345601    时间: 2008-12-22 23:05
没敢干过
作者: mangovc    时间: 2008-12-23 14:01
油温还未热就能开高阀吗?好像很多机器都有这个互锁,应该是开不了的
作者: 森林小树    时间: 2008-12-25 09:38
油温设定值是可以改的,温度低只是抽气速度会很慢的,反油应该不会
作者: samurai_sc    时间: 2008-12-27 01:14
油温低应该是会影响抽速  反油现象应该不至于  
由于扩散泵油是混合型的  每种油的蒸馏点不一样 油温低会导致蒸馏点低的油不能蒸发成油蒸汽,导致了抽速慢。
泵油回流大部分也是靠冷却油蒸汽,使之从气态转变成液态回流,所以低温应该不会导致反油现象
具体有什么损害 不小得,没试验过。
作者: shjygx    时间: 2008-12-27 11:10
反油,看看家里脱排上的油,一个道理
作者: GR800322    时间: 2008-12-27 12:47
温度低 抽不懂   不会返油(至少不明显)
作者: mengmingpeng    时间: 2008-12-27 21:11
油温设定值是可以改的,温度低只是抽气速度会很慢的,反油应该不会
作者: cchenghua    时间: 2008-12-28 00:18
最好用什么方法去避免 有油污啊

使用风扇降温
作者: 宇宙深处    时间: 2008-12-28 13:58
扩散泵的油温若过低,此时却打开了阀门,会造成扩散泵这边的压力比前级管道压力大,油会到前级管道中去,是这样吗?为什么?能从原理上说明吗?会有什么危害吗?前级泵(旋片泵和罗茨泵)能抽走这些又吗?
fawang 发表于 2008-12-20 23:56

不会的,这种情况下虽然会产生一个压力差(指的是扩散泵没有预抽,或预抽不够;这些都不是常态),但抽去的一定是空气,此时也会有少量的油蒸汽,但由于油温不高,蒸汽量一定是很少的!!!!至于危害是谈不上,只是这种现象确实是故障状态,油温是不高,但毕竟还是有些温度的,时间长了油容易被氧化。前级的长时间负荷过大,对其寿命也有影响。
作者: 苏州膜头    时间: 2008-12-31 20:03
1# fawang
前级泵不停.管道不漏.油不可能返到管道.油温低抽速慢.真空室返油高
作者: JZNT    时间: 2009-1-8 14:10
反油应该不会,如果油温低会影响抽速的。
作者: fawang    时间: 2009-1-10 10:35
14# 宇宙深处
油温低抽走的油蒸汽很少,那油温高就会抽走很多吗?可是如果温度后来上升啦,不就变高啦?那不是就可能返油啦?




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