光电工程师社区

标题: 扩散泵有水? [打印本页]

作者: fawang    时间: 2008-12-21 00:12
标题: 扩散泵有水?
扩散泵开起来后里面有声音?有人说可能是里面有水吗?有这可能吗?若是,能被旋片泵和罗茨泵前级泵抽走吗?这些水会对扩散泵或前级泵有什么危害呢?
作者: killjackson    时间: 2008-12-21 11:23
这问题会有多种可能:
1 水冷井漏
2 油过多
看下扩散泵的真空不就知道有无水了。
作者: zzh1011    时间: 2008-12-21 11:39
新油有这种现象,看下扩散泵的真空不就知道!
作者: fawang    时间: 2008-12-21 16:38
哈哈,怎么看扩散泵的真空?
作者: yzhuang    时间: 2008-12-21 21:56
我个人认为这是个绝对的错误!扩散泵不可能有水,因为扩散泵加温最少也要到200摄氏度,而在常压下水的汽化点就是100摄氏度,在真空下的汽化点只可能更低,水在扩散泵中是无法存在的
作者: lunik    时间: 2008-12-22 08:35
呵呵。如果扩散泵口有MESSINER的话,油里边有水的可能性很大,特别是韩国镀膜机,这方面最差。泵油只有两中变差:氧化和乳化。氧化就不说了,乳化就是里边水太多了,机械泵和罗茨泵是抽不掉水的,或者说抽水能力很差,是泵本身的结构决定的。
另外有声音要看什么声音,油喷射到泵壁上是会产生一些声音,但不会太大,特别是机械泵都开的时候,只有仔细听才有,希望帮到你了,呵呵。
如果很少的水,也没关系。可以在开扩散泵加热前,让机械泵多抽一段时间,或有低温冷阱的话,就在开扩散泵加热前把低温冷阱启动,……
作者: fawang    时间: 2008-12-22 12:25
哈哈,什么MESSINER?是深冷管吗?当除霜时水掉下去的意思吧?没有深冷机,扩散泵是兰州真空的,买了几台,只有一台有声音,其它没有,第一次开扩散泵。
作者: shjygx    时间: 2008-12-22 17:35
1。油沸腾的声音
2。外圈冷却水的声音
3。你再仔细听听。。。
作者: lunik    时间: 2008-12-23 12:02
请问楼主是什么设备?买的什么型号的扩散泵?兰州的泵在国内基本上是最好的了。可能比日本和韩国的泵都更好些。有声音可否具体说是什么声音???
作者: x_x_x_f    时间: 2008-12-23 17:55
请问:我的是现代南光的机器,配有0.5匹的氟利昂冷阱。最近感觉机器的抽速很慢,而且极限真空差,扩散泵真空只有2.8E-4Pa(抽了20分钟扩散泵,高阀关闭),而且伴随有微量返油情况。有以下问题:
1. 像这种结构的冷阱,长期使用后会使扩散泵中有水存在么?如果有应该如何避免?
2. 我的扩散泵是K630T的扩散泵,成都中孚真空制造的,厂家说明书上没有此型号的扩散泵的加油量。扩散泵的底部有一圈一圈的螺旋状的槽,加油时需要油刚好漫过槽还是刚好不能漫过槽?
3. 要提高扩散泵的抽速,还有什么办法么?譬如增加扩散泵一级泵芯的直径?
作者: samurai_sc    时间: 2008-12-27 01:25
MESSINER是制冷盘管么? 我用的机器扩散泵口前有个制冷盘管,工作温度 零下127度  
夏天湿度大的 时候抽速的确不好  冬天环境干燥的时候抽速还是挺好的  
至于水的问题,导致乳化应该是肯定的吧  至于能不能抽出去,我觉得可能性不大  至少我这里的机械泵抽不了水汽,靠油膜封闭腔体 抽水气应该会把机械泵的泵油也乳化了吧 ?
作者: 森林小树    时间: 2008-12-27 21:57
扩散泵开启时有时会发出很大的声音,我也不太懂是什么问题,正好学习一下
作者: shjygx    时间: 2008-12-28 17:29
扩散泵开启时有时会发出很大的声音,我也不太懂是什么问题,正好学习一下
森林小树 发表于 2008-12-27 21:57

什么牌子的机器阿?                        。
作者: 苏州膜头    时间: 2008-12-31 19:49
10# x_x_x_f

4帕.加温时间不够.电炉有问题.前级泵有问题.冷井冻裂了.油不可多加.刚过圈大概3升
作者: x_x_x_f    时间: 2009-1-1 03:03
#11
扩散泵真空是2.8*10-4Pa,不是4帕。
关了高阀感觉应该能进-5帕才对。
总体感觉机器抽得很慢。
作者: lunik    时间: 2009-1-2 09:37
扩散泵要在低于10Pa的压力下启动,保护泵油。另外,如果泵口带POLYCOLD的冷却盘管的话,每次停机,上边的冰都会掉油内,韩国机都是这样的。
扩散泵的极限真空应该在-5Pa,不然加上设备本身的漏率的话,肯定抽空时间长的。
机械泵是抽不了水的。冬天和夏天抽空有区别的话,考虑机房也要加空调了,呵呵
作者: fawang    时间: 2009-1-10 10:44
请问楼主是什么设备?买的什么型号的扩散泵?兰州的泵在国内基本上是最好的了。可能比日本和韩国的泵都更好些。有声音可否具体说是什么声音???
lunik 发表于 2008-12-23 12:02

哈哈,不好意思,就是兰州真空的扩散泵,感觉是在腔壁的声音,噼里啪啦的声音,应该不是冷却水的声音,现在变小啦




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