光电工程师社区

标题: 扩散泵有水？ [打印本页]

作者: fawang 时间: 2008-12-21 00:12
标题: 扩散泵有水？
扩散泵开起来后里面有声音？有人说可能是里面有水吗？有这可能吗？若是，能被旋片泵和罗茨泵前级泵抽走吗？这些水会对扩散泵或前级泵有什么危害呢？

作者: killjackson 时间: 2008-12-21 11:23
这问题会有多种可能：
1 水冷井漏
2 油过多
看下扩散泵的真空不就知道有无水了。

作者: zzh1011 时间: 2008-12-21 11:39
新油有这种现象，看下扩散泵的真空不就知道！

作者: fawang 时间: 2008-12-21 16:38
哈哈，怎么看扩散泵的真空？

作者: yzhuang 时间: 2008-12-21 21:56
我个人认为这是个绝对的错误!扩散泵不可能有水,因为扩散泵加温最少也要到200摄氏度,而在常压下水的汽化点就是100摄氏度,在真空下的汽化点只可能更低,水在扩散泵中是无法存在的

作者: lunik 时间: 2008-12-22 08:35
呵呵。如果扩散泵口有MESSINER的话，油里边有水的可能性很大，特别是韩国镀膜机，这方面最差。泵油只有两中变差：氧化和乳化。氧化就不说了，乳化就是里边水太多了，机械泵和罗茨泵是抽不掉水的，或者说抽水能力很差，是泵本身的结构决定的。
另外有声音要看什么声音，油喷射到泵壁上是会产生一些声音，但不会太大，特别是机械泵都开的时候，只有仔细听才有，希望帮到你了，呵呵。
如果很少的水，也没关系。可以在开扩散泵加热前，让机械泵多抽一段时间，或有低温冷阱的话，就在开扩散泵加热前把低温冷阱启动，……

作者: fawang 时间: 2008-12-22 12:25
哈哈，什么MESSINER？是深冷管吗？当除霜时水掉下去的意思吧？没有深冷机，扩散泵是兰州真空的，买了几台，只有一台有声音，其它没有，第一次开扩散泵。

作者: shjygx 时间: 2008-12-22 17:35
1。油沸腾的声音
2。外圈冷却水的声音
3。你再仔细听听。。。

作者: lunik 时间: 2008-12-23 12:02
请问楼主是什么设备？买的什么型号的扩散泵？兰州的泵在国内基本上是最好的了。可能比日本和韩国的泵都更好些。有声音可否具体说是什么声音？？？

作者: x_x_x_f 时间: 2008-12-23 17:55
请问：我的是现代南光的机器，配有0.5匹的氟利昂冷阱。最近感觉机器的抽速很慢，而且极限真空差，扩散泵真空只有2.8E-4Pa（抽了20分钟扩散泵，高阀关闭），而且伴随有微量返油情况。有以下问题：
1. 像这种结构的冷阱，长期使用后会使扩散泵中有水存在么？如果有应该如何避免？
2. 我的扩散泵是K630T的扩散泵，成都中孚真空制造的，厂家说明书上没有此型号的扩散泵的加油量。扩散泵的底部有一圈一圈的螺旋状的槽，加油时需要油刚好漫过槽还是刚好不能漫过槽？
3. 要提高扩散泵的抽速，还有什么办法么？譬如增加扩散泵一级泵芯的直径？

作者: samurai_sc 时间: 2008-12-27 01:25
MESSINER是制冷盘管么？我用的机器扩散泵口前有个制冷盘管，工作温度零下127度
夏天湿度大的时候抽速的确不好  冬天环境干燥的时候抽速还是挺好的
至于水的问题，导致乳化应该是肯定的吧  至于能不能抽出去，我觉得可能性不大  至少我这里的机械泵抽不了水汽，靠油膜封闭腔体抽水气应该会把机械泵的泵油也乳化了吧？

作者: 森林小树 时间: 2008-12-27 21:57
扩散泵开启时有时会发出很大的声音，我也不太懂是什么问题，正好学习一下

作者: shjygx 时间: 2008-12-28 17:29

扩散泵开启时有时会发出很大的声音，我也不太懂是什么问题，正好学习一下
森林小树发表于 2008-12-27 21:57

什么牌子的机器阿？。

作者: 苏州膜头 时间: 2008-12-31 19:49
10# x_x_x_f

4帕.加温时间不够.电炉有问题.前级泵有问题.冷井冻裂了.油不可多加.刚过圈大概3升

作者: x_x_x_f 时间: 2009-1-1 03:03
#11
扩散泵真空是2.8*10-4Pa，不是4帕。
关了高阀感觉应该能进-5帕才对。
总体感觉机器抽得很慢。

作者: lunik 时间: 2009-1-2 09:37
扩散泵要在低于10Pa的压力下启动，保护泵油。另外，如果泵口带POLYCOLD的冷却盘管的话，每次停机，上边的冰都会掉油内，韩国机都是这样的。
扩散泵的极限真空应该在-5Pa，不然加上设备本身的漏率的话，肯定抽空时间长的。
机械泵是抽不了水的。冬天和夏天抽空有区别的话，考虑机房也要加空调了，呵呵

作者: fawang 时间: 2009-1-10 10:44

请问楼主是什么设备？买的什么型号的扩散泵？兰州的泵在国内基本上是最好的了。可能比日本和韩国的泵都更好些。有声音可否具体说是什么声音？？？
lunik 发表于 2008-12-23 12:02

哈哈，不好意思，就是兰州真空的扩散泵，感觉是在腔壁的声音，噼里啪啦的声音，应该不是冷却水的声音，现在变小啦

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