光电工程师社区

标题: H4膜层问题 [打印本页]

作者: Lxykoko 时间: 2008-12-23 00:09
标题: H4膜层问题
用H4和MGF2镀出来没问题，清洗后只要洗洗剂就会出现膜层一刷一刷的印子，怎么回事呢

作者: shjygx 时间: 2008-12-23 07:04
没用过洗洗剂，不懂。

作者: qjy 时间: 2008-12-23 10:11
洗洗剂是什么东西呀？镀膜后还要用它来清洗一下吗还是怎么回事呀？请赐教

作者: my-sky 时间: 2008-12-23 13:21
我们有一种日本材料可以用来替代H4，价格便宜很多，楼主应该有兴趣吧

作者: zzzz 时间: 2008-12-23 16:46
清洗剂是酸OR碱性?
一刷刷是什么样的??想不出来

作者: 280345601 时间: 2008-12-23 21:25
洗洗剂？一刷刷？

作者: aleko 时间: 2008-12-24 09:51
楼主是哪个公司的，可以和我联系。

作者: Lxykoko 时间: 2008-12-24 22:10
就是用H4和MGF2镀五层膜，镀完一面还要镀第二面呀，翻面要清洗，洗出来就是有黑色的印子，但是清洗时只要不洗剂那一格就没事，一洗就出现印子了，楼上的联系方式呀？我QQ183603818

作者: 森林小树 时间: 2008-12-25 09:33
会不会是膜裂，应力太大了？？

作者: shuangzixing 时间: 2009-1-7 20:18
我想请教一下.我在镀H4的时候发现很容易挖炕我是加扫描的和冲氧.你们是怎么镀的请指教

作者: Lxykoko 时间: 2009-1-7 22:26
光斑大一点呀?还是你枪不行?

作者: 随风2008 时间: 2009-1-8 18:45
有没有考虑过换种洗剂试试?

作者: Lxykoko 时间: 2009-1-8 20:46
我不是搞清洗的,我怀疑洗剂,但是领导不允许怀疑,我晕死

作者: silentzys 时间: 2010-12-15 15:13
H4膜层的化学名称是什么。
你的这种问题可能在清洗剂有残留或在表面有吸附造成、肉眼看不出来、镀膜后会出现

作者: xinliangrizhao 时间: 2010-12-19 14:13
是薄膜密着度不好，薄膜结构疏松，在经过洗剂后，洗剂腐蚀到了膜层内部，造成黑斑，看样子你用的也不是什么先进的镀膜机了，应该没有离子源吧，这样的话，就只能提高基片在镀膜时的温度了，提到350°C。

作者: new1980 时间: 2010-12-20 10:07
什么洗剂啊

作者: 冰雨8788 时间: 2010-12-24 22:41
楼上的分析有理，我认为也是这样，与膜层结构有关，不够致密。

作者: xuyi198047 时间: 2011-4-7 20:50
你知道的，我看不懂得，呵呵。

作者: mxbplayboy 时间: 2011-4-7 22:04
学习中

作者: ghtzna 时间: 2011-4-13 12:01
这是AR很常见的问题，烘烤后就会有，看一下洗剂的参数。。。。。

作者: 山村野夫 时间: 2011-4-13 21:33
这个也就是常说的潮斑，跟清洗工艺有直接关系，另外MGF2也很容易吸潮，最外层镀SIO2潮斑会少一点

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-14 19:50
那是渍，是你工艺不行，

作者: ranguangpu 时间: 2011-4-14 19:51
你镀什么东西啊，增透？

作者: zqcotccs 时间: 2011-4-14 22:02
你的最后一层应该是MGF2吧，你可以试着在最外层少镀一些SIO2看看，应该可以解决你说的问题。我QQ654712778

作者: xiaohuilee 时间: 2011-4-16 21:08
难道是膜色丫K？？

作者: 懒得糊涂 时间: 2011-4-19 16:47
看得我一愣一愣的……惭愧

作者: jionboy 时间: 2011-4-19 19:33
我很想看看基片的情况在说，貌似这里有很多高手，小弟还在学习中

作者: faith3h 时间: 2011-4-23 02:26
看不懂！

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