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标题: 微加工之父-超快-Clark [打印本页]

作者: 大巴    时间: 2008-12-24 13:53
标题: 微加工之父-超快-Clark


顶尖科仪(中国)公司
北京:13520381780
杭州:13552346276

美国Clark-MXR公司的简短历史:从1984年开始研发超短脉冲源,1987年Dr. Bill Clark创建Clark仪器公司,开始出售碰撞锁模染料飞秒激光器(CPM),1991年Philippe Bado和Gerard Mourou(CPA理论的创始人)创建的MXR公司,开始开发商业CPA。1992年Clark仪器公司和MXR公司合并,正式成立Clark-MXR公司。在18年超快领域的经营中,Clark对减小超快激光器的体积、增强其稳定性、降低维护成本的努力从未间断过。
极富有创新精神的Clark-MXR公司
第一台商业化脉冲碰撞锁模染料(CPM)激光器
第一台商业化 bow-tie 放大器
第一台商业化Ti:Sapphire 振荡器
第一台商业化再生放大器
第一台商业化光纤振荡器作种子源的再生放大器
第一台商业化集成一体化再生放大器
第一台商业化高功率1微米光纤振荡器
第一台商业化超快微加工工作平台
Clark-MXR的知名产品包括:
1.CPA—飞秒再生放大器:
集成一体化CPA系统包含20××系列、21××系列和CPA-2210系统,技术指标在不断的提高,适用领域在不断拓宽。
• kHz 绿光泵浦源;
• 电脑全程操作控制;
• 内设诊断器;
• 主动水冷稳定装置,确保整个系统温度波动< 0.1 ℃;
• 光纤激光器(种子光),平均20年无故障时间,5年/40000小
  时质保;
• 真正意义的上集成一体化的CPA,理想的OPA泵源;
• 完全由计算机控制,占用最小的空间;
• 理想的超快微加工光源;
• 最少的维护费用和运行成本。
技术参数
CPA-2101CPA-2110CPA-2210CPA-2161
波长775 nm
输出能量> 0.8 mJ>1 mJ> 0.6mJ> 2 mJ>1.5 mJ平均2.5W
重复频率≤ 1kHz≤ 1kHz1-2kHz≤ 1kHz1-2kHz3-6 kHz
脉宽< 150 fs
光斑直径4-6mm
频率稳定性< 1 rpm
发散角< 100 microradians
偏振态Linear, horizontal
尺寸380×825×230mm
可选附件: CPA-OS-1550 Residual Oscillator output
           CPA-OS-775 Additional 775nm Output
2.Clark-MXR公司拥有OPA的超强阵容:
包括业界最短脉冲宽度(最短可达10fs)、最低泵浦阈值(200mW)的光参量放大器NOPA,也是市场上唯一的非共线OPA。还有调谐范围超过12um的OPUS,以及其经典产品IR-OPA
OPA系列飞秒光参量放大器
NOPATM 系列非共线光参量放大器
  • 与CPA-2101系列可配套;
  • 超连续白光作为种子源;
  • 近TEM00模输出;
  • 结构紧凑,使用方便;
  • 电脑控制;
  • 最短可获得10fs脉冲。
技术参数
NOPA slimNOPANOPA plus
波长范围
脉冲宽度
470nm to 700nm @< 30fs450nm to 700nm @ < 30fs;
870nm to 1600nm @ < 50fs
450nm to 870 @< 30fs
870nm to 1600nm @< 50fs
脉冲能量7 μJ 8 μJ 8 μJ
泵浦条件0.2mJ, 150fs, Near TEM00@ 1KHz, 775nm
尺寸380×825×230mm
不同型号的波长范围与脉冲宽度的关系图
OPUSTM系列光参量放大器
• 与CPA-2xxx系列可配套;
• 一体化设计灵活可靠;
• 可在线控制;
• 工作稳定可靠,操作方便;
• 低泵浦,高转换效率;
• 大的调谐宽度(>20μm);
• 超连续白光作为种子源;
• 近TEM00模输出。
技术参数
Near-IR
Signal / Idler
Mid-IR
DFG
Vis
SHG
波长1.1 - 2.5 μm 2.7 - 20 μm 0.58 - 1.1 μm
脉宽(FWHM)< 200 fs
脉冲能量> 60 μJ > 1 μJ > 20μJ
脉冲稳定性< 1 % rms
尺寸400 × 600 × 200 mm
IR-OPA系列近红外光参量放大器
• 与CPA-2001可匹配;
• 波长覆盖300nm to 2.5μm;
• 近TEM00模输出;
• 结构紧凑,使用简单;
• 可做为高稳定的白光种子源;
• 1.5μm输出使用效果最好。
技术参数
Fundamental
Output
Second Harmonic
Output
Fourth Harmonic
Output
波长1.15μm - 2.5μm575nm - 1.15μm300nm - 575nm
脉宽(FWHM)< 150fs @ 1.3μm < 200fs< 300fs
脉冲能量>100μJ @ 1.5μm>20μJ @ 675nm>3μJ @ 350nm
脉冲稳定性< ±3%< ±6%< ±8%
尺寸400 × 600 × 200 mm
3.其它产品还有:
已经应用于工业,可直写波导的UMW-系列飞秒微加工系统
最有潜力取代钛宝石飞秒激光器的Magellan LD泵浦掺Yb光纤飞秒激光器
最大扫描范围150ps、扫描频率20Hz,超高线性度的光学延迟线ODL-150
UMW-系列飞秒超快微加工平台
完整的系统包括:
  • CPA激光光源(CPA-2110 or CPA-2161);
  • 多轴定位系统;
  • 光束传输瞄准系统(视场:4mm;分辨率:1μm);
  • 参数选择系统;
  • 智能化检测系统;
  • 保护系统;
  • 移动控制系统。
加工范围:
X,Y轴
  • 最大行程:150mm;
  • 分辨率:0.5 mm;
  • 精确度:1.0 mm;
  • 速度:15cm/sec。
Z轴
  • 最大行程:150mm;
  • 分辨率:1.0 mm;
  • 精确度:+ /-1 mm;
  • 速度:15cm/sec。
加工样例:

Glass

Ceramic

Metal

Wave-guide

Made with a Clark-MXR Model CPA-Series Ti:Sapphire Regenerative Amplifier
Magellan掺Yb超快光纤震荡器
• 单管泵浦掺Yb光纤激光器;
• 结构设计紧凑,结实耐用;
• 1.03 um,nJ量级的能量输出;
• 极低的噪声,光纤耦合输出。

应用:
  • 放大器种子光源;
  • 光学相干断层扫描(OCT);
  • 非线性光学;
  • THz 产生;
  • 光致聚合作用;
  • 时间分辨光谱分析。
技术参数
飞秒输出
脉冲能量> 1 nJ/pulse
脉冲宽度< 200 fs
皮秒输出 (可选择)
脉冲能量> 2 nJ/pulse
脉冲宽度~ 3 ps
参数
中心波长1.025-1.035 um
输出模式TEM00
重复频率37 MHz
光斑直径1.8 mm +/- 0.2 mm
发散角< 2 mrad
尺寸225 × 160 × 117.28 mm
飞秒输出高度88.9 mm
皮秒输出高度82.55 mm
IMPULSETM大功率(20W)飞秒激光器
• 全固态紧凑型设计;
• 振荡源再生放大全光纤一体化设计;
• >20W的平均功率输出;
• 重复频率500 kHz 到25 MHz可调;
• 完全由计算机控制;
• 优秀的光束质量,长时间稳定工作。

应用
  • 材料微加工;          • 光致聚焦作用;
  • 光波导的直接刻写;    • OPA/NOPA的泵浦源。
技术参数
重复频率User adjustable from via computer from 500 kHz to 25 MHz
脉冲能量计算机控制实现100 nJ 到 10μJ可调 (>0.8 μJ @ 25 MHz, > 10μJ @ < 2 MHz)①
平均功率>20 Watts @ > 2 MHz
脉宽< 250 fs 到 10 ps脉宽可调
激光模式及M2TEM00, M2 < 1.2 - 1.5(取决于脉冲能量)
稳定度< 1% rms
中心波长1.03 um
① 添加脉冲选择器后重复频率可到200kHz





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