标题: [建议][讨论]康蒙法侧量大平面面形的数据处理程序 [打印本页] 作者: mahubble 时间: 2003-4-25 20:25 标题: [建议][讨论]康蒙法侧量大平面面形的数据处理程序 由于高精度大口径平面是大口径光学系统的测量基准,而其检验却缺乏相应口径的干涉仪所以有人发展了不同形式的侧量大口径平面的方法,有用小块面拼接的,有用朗奇康盟法的,但是朗齐康萌法的数据处理确实非常的复杂。这里有一篇相关文章希望有兴趣的人能共同完成这部分工作。
Application of Ritchey-Common test in large flat measurements
Han, Sen, Novak, Erik, Schurig, Mike, Veeco Instruments Inc. Proc. SPIE Vol. 4399, p. 131-136, Optical Measurement Systems for Industrial Inspection II: Applications in Production Engineering, Roland Hoefling; Werner P. Jueptner; Malgorzata Kujawinska; Eds.