光电工程师社区

标题: 扩散泵反油的问题 [打印本页]

作者: JZNT 时间: 2009-1-8 14:13
标题: 扩散泵反油的问题
请教各位一个问题,扩散泵反油有哪些原因造成的？

作者: shjygx 时间: 2009-1-8 15:05
打个电话到你使用的扩散泵的生产厂家问问就知道了

作者: wukeyi28 时间: 2009-1-8 15:05
未按规定操作吧

作者: shuangzixing 时间: 2009-1-8 19:50
同意楼上的意见.还有是水温

作者: JZNT 时间: 2009-1-10 16:56
按规定操作的，水温也好的。不知为什么还有轻微的反油。

作者: shuangzixing 时间: 2009-1-10 20:20
能说说返油的情况吗.今天清洗机器我也发现了在高阀腔体的下面.也就是说在抽真空管道的下面有油污

作者: martin1980 时间: 2009-1-11 11:26
冷阱的是个比较重要的环节.

作者: fawang 时间: 2009-1-11 18:40
水温和冷阱这两方面比较重要吧

作者: gxbm 时间: 2009-1-12 10:14
有冷阱应该没事的，没有就很有可能了。只是多少的问题。

作者: JZNT 时间: 2009-1-17 08:42
有冷井，在高阀的下面有明显的油污。

作者: dbythy 时间: 2009-4-2 22:14
要换新的扩散油了,.........................

作者: 宇宙深处 时间: 2009-4-4 21:35
原因有很多，比如前级泵或导管有漏；扩散温度过高；泄气时MP盖的不及时等等。

作者: JZNT 时间: 2009-4-14 15:29
谢谢各位的指点！！！！

作者: wazxq 时间: 2009-4-14 15:39
12楼说的比较全了再加一个油老化也会

作者: xiu0214 时间: 2009-4-18 16:59
是不是冷阱設擋板計不好是一字型還是V字型，如是V 字型反油發生機率較小另再確認水溫及水壓力以上
供參考

作者: ymrtgobn 时间: 2009-5-3 14:14
关注.........................

作者: JZNT 时间: 2009-5-4 10:33
冷阱挡板是V字型的，油换了不到半年。

作者: 涛哥 时间: 2009-5-4 16:52
1.违规操作。
2.冷却水温度过高。

作者: lukeoe 时间: 2009-5-4 20:43
按你说的不应该这样的，期待答案.

作者: JZNT 时间: 2009-5-9 08:45
机器是自动的，不存在违规操作，冷却水温度合乎要求。

作者: john03062003 时间: 2009-5-10 18:32
完全不返油的扩散泵是不存在的，无论你的冷阱做得多好，水温有多低，操作如何正确，都存在着这种状况，只是轻微与严重的问题，轻微的返油是允许的，影响也没有那么严重，但是严重的返油就要坚决避免了。

作者: wxcad1 时间: 2009-7-26 19:18
有冷阱应该没事的,关建是没有堵，我们的这个就是

作者: lukaiyan 时间: 2009-7-28 19:24
前级真空不够，控制冷却水温度

作者: 终南子 时间: 2009-7-28 19:30
导致高阀下边有油污的原因比较多了

作者: yzhuang 时间: 2009-8-3 23:16
油温，水温都是可能造成返油的原因

作者: JZNT 时间: 2009-8-20 13:18
谢谢各位的指教！！！！！！！

作者: 候鸟 时间: 2009-8-21 08:17
呵呵，多谢各位的贴子，学到了知识！
非常谢谢！

作者: longmin 时间: 2009-8-21 23:29
翻書本
在真空技術裡
分子流
可以解釋這個情形

作者: qlxk1026 时间: 2009-8-29 19:22
还有。。。高阀开后突然停电。。。

作者: JZNT 时间: 2009-9-17 15:20
qlxk1026

我们出现过这种情况，谢谢！

作者: yjlong.dm 时间: 2009-9-17 15:46
扩散泵反油可能是你们的冷凝装置损坏

作者: z1206l 时间: 2010-5-28 14:59
1 具体问题具体分析。
2 对待设备应该预防为主。

作者: skyperfect 时间: 2010-6-16 16:03
我这边也是高阀返油，而且很厉害，开始是温度过高了，把温度调低了就好多了，但现在还有些轻微的返油，试着再微调温度还是没有多大用，不知还没有没其它问题。

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