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标题: 中国科学院利用KBBF晶体直接产生深紫外光 [打印本页]

作者: 粤凌翔玻璃 时间: 2009-1-31 10:49
标题: 中国科学院利用KBBF晶体直接产生深紫外光
中国科学家设计并制作出一个波长可调的全固态激光器(all-solid-state laser)，其波长可在175到210 nm的深紫外光(DUV)范围内调整，功率可达数毫瓦。这项成果将有益于需要波长约200 nm深紫外光源的应用，例如光电子能谱技术(Photoemission Spectroscopy，PES)与光刻技术(photolithography)等。

中国科学院的Zuyan Xu表示，他们利用四倍频技术(fourth harmonic generation)将Ti:Sapphire激光器的波长由175调整到200 nm。波长为193 nm时，激光器输出最高功率为2.23 mW；波长介于182到210 nm之间，功率也都能达到1 mW以上。这是科学家首度直接以二倍频技术制作出波长低于200 nm且功率达毫瓦等级的可调式全固态激光器。

该研究团队的实验架构可分为三部分：先以波长532 nm的绿光激光器来激发Ti:Sapphire激光器，然后以二倍频技术将激光器光转成UV光，最后再以四倍频技术将UV光转成DUV光。

Ti:Sapphire输出的激光器光(功率大于3W，波长介于690与840 nm)被聚焦至一组硼酸钡(BBO)晶体，以产生波长340至415 nm 的UV光，UV光再经过氟代硼铍酸钾(KBBF)晶体，就能产生DUV光。Xu表示该方法得到的DUV光是准连续波(quasi-continuous wave)，重复率为8 kHz，脉冲宽度约20 ns。

Xu 指出，KBBF是唯一可以利用二倍频方式得到波长低于200 nm的DUV光的晶体，但由于它具有层状结构，要沿着相位匹配(phase-matching)方向切割是不可能的。为此他们发明出特殊的棱镜耦合(prism-coupling)技术来解决此问题。该研究团队目前朝着制作更高功率与更大可调波长的方向努力，长远的目标是将此技术商业化

作者: chenchenchen 时间: 2009-1-31 19:09
路过,看看不错,谢了....

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