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标题: 扩散泵漏？ [打印本页]

作者: dink0615 时间: 2009-2-1 15:21
标题: 扩散泵漏？
各位大侠，
首先说声新年好。第一次上论坛就麻烦各位，真是说声抱歉。
我们这有台扩散泵有点问题（整个过程中未开启扩散泵）。当我们打开罗斯泵和机械泵（未打开扩散泵，未打开扩散泵的冷却水），抽取扩散泵内部压力，直到2.0 E -2 bar，并趋于稳定之后，开启扩散泵的冷却水，此时，扩散泵内部压力开始上升，在6.0E -2 bar和9.8E -2 bar之间波动。一旦关闭罗斯泵和机械泵，扩散泵内的压力将继续飙升，在不到1分钟时间内飚到1.0E 0 bar才趋于稳定。更换一个扩散泵之后，不管开不开冷却水，扩散泵内部压力基本维持在2.2E -2 bar 并且没有大的波动。同样的关闭罗斯泵和机械泵，扩散泵内部压力升的很慢。关掉水阀并排出冷却水管内，用检漏仪查冷却水管，但检漏仪没有报警。请问大家是否认为扩散泵冷却水管内部有微漏？如何找到这个微漏？找到后如何修理？如果是微漏，但无法找到的话，可否独立再焊接另一条冷却水管（不锈钢还是铜呢）？谢谢大家了。

作者: noodlesy 时间: 2009-2-1 15:54
如果是冷却水有漏,扩散泵油是否有异常? 你的冷却水管厚度是多少的?是否能够焊接?怎么不联系厂家来解决呢

作者: zzzz 时间: 2009-2-2 08:42
难道你有专门测试扩散泵处的真空度??????

作者: 涛哥 时间: 2009-2-2 10:41
请联系：镇江三维真空光学有限公司 0511-8657 8530

作者: noodlesy 时间: 2009-2-2 14:25
LZ好像对自己的问题不太关心，

作者: dink0615 时间: 2009-2-2 19:26
不好意思，发帖子是出差在外发的。今天刚回到家。扩散泵油没有发现异常。这些设备都是德国莱宝的。要他们派人来修的话，代价太高。自己能修的话最好，近期设备大故障很多，09年第一个月就用掉了3个月的维修预算。所以尽量想自己修。冷却水管厚度不明，材质不明（猜是铜质的，好散热。但如果是铜的，而泵体是钢的，那就难焊接了）。
3楼的兄弟，不是专门有测的，莱宝机上在扩散泵的排气口有个真空计，而这个真空计之后就是控制一个排气管道开关的阀门。
我发帖主要是想问问各位大大，你们认为这是冷却水管漏了嘛？

作者: gb936 时间: 2009-2-3 03:26
本帖最后由 gb936 于 2009-2-3 03:30 编辑

不能确定冷却水管漏.可用检漏仪查泵的排气端附近有无漏孔.
焊接应该不是大问题.扩散泵在国内生产技术很成熟了.

作者: zzzz 时间: 2009-2-3 08:16
真空计的位置表明测试的真空度非扩散泵内的,而是连接排气管道地
若是水管漏,无论通不通水都会漏,除非你的水路是密封地

作者: dink0615 时间: 2009-2-3 22:44
楼上的大侠，真空计的位置也可以表明是扩散泵至排气管道的真空度吗？另外要是可能漏的孔很小呢？只有在冷却水管水压，以及扩散泵内部抽真空时的双重作用才将水“漏进”扩散泵，所以造成冷却水一开，扩散泵至排气管道的真空度无法保持在一个恒定值，而冷却水不开，扩散泵至排气管道的真空度则保持在一个恒定值。
楼上楼上的大侠，我查过，没有有漏的哦，甚至直接将氦气打入冷却水管，但测漏仪也没有报警的情况。（俺们的LEYBOLD测漏仪不是很好。啥都没动，都能叫的很欢）
另外，抱歉各位：我上班时不能上网，所以只能晚上回家上网看看。

作者: zzzz 时间: 2009-2-4 10:33
嘿嘿
应该是包括排气管在扩散泵内的那段
你的气没有漏又水漏的现象解释的我头都大了
冷水管和泵只是焊接,难道泵体和水管同时漏;若是按你的解释,存在这种微漏,那你泵是玩完了

作者: noodlesy 时间: 2009-2-4 13:35
一定是水管有漏，扩散泵抽水蒸气的效率很低的，用保压方法在检查一下？

作者: dink0615 时间: 2009-2-4 20:21
恩，今天直接在冷却水管里冲了150PSI的氮气进行保压，到明天看看压力有没有变小。呵呵。如果真是冷却水管漏了。。那找起来有点麻烦啊。。。。呵呵

作者: zzzz 时间: 2009-2-5 08:03
冷却水管和泵体是导通的吗????????????????????????????????

作者: noodlesy 时间: 2009-2-5 14:12

恩，今天直接在冷却水管里冲了150PSI的氮气进行保压，到明天看看压力有没有变小。呵呵。如果真是冷却水管漏了。。那找起来有点麻烦啊。。。。呵呵
dink0615 发表于 2009-2-4 20:21

结果如何? 1.5公斤是不是小了一点,怎么不用5公斤试一下?

是怕水管变形吗?

作者: dink0615 时间: 2009-2-5 20:05
呵呵，楼上的大侠，我是怕变形哦。不过150psi够了......今天发现昨天保的压力变成20psi，然后泵体内灌水。。。排气口的冷却水管一串串泡泡冒了出来。。。哎。。。。这可难搞了。。。不知道这是dip 12000型排气口冷却水管是什么材质的，不知道如何焊接啊。。。。

作者: zhangking 时间: 2009-2-6 08:44
比较难搞，最好请个高级焊接人员看看

作者: zzzz 时间: 2009-2-6 11:18
冷却水管暴压20PSI,泵体灌水,排气管冒泡,
晕菜,水管保压还会冒泡

作者: lunik 时间: 2009-2-6 11:46
Leybold 的泵壁非常薄的，并且是故意加工成竹节样子，如果材质有问题，还是很可能会漏的。如果是排气口的水管漏的话，还没那么复杂。泵体一般是碳钢或不锈钢的，最好问下LEYBOLD。关键是找到漏点，先用锡焊上，抽空试试

作者: lunik 时间: 2009-2-6 11:47
ZZZZ说的有道理的，通不通水都会漏的。但在低真空下，一般不明显

作者: dink0615 时间: 2009-2-6 21:03
谢谢各位，我们已经找到漏源了，但是该排气口较小，无法伸入进行焊接，问了几家焊接的供应商，他们都说不好做。。。。哎。。。怎么办啊。。。大侠们啊。。。。现在孤注一掷了。。。打算把排气口给整个卸了，重新做个。。。不知道会不会行啊。。。

作者: gb936 时间: 2009-2-6 21:10
把排气口给整个卸了，重新做个......密封好的话,没问题.

作者: noodlesy 时间: 2009-2-7 21:18
那你用固体胶试一下？

作者: dink0615 时间: 2009-2-9 21:46
想过要把排气口卸了。但怕供应商做的新排气口不符合要求哦。
楼上的大哥哟，用固体胶有用嘛？外面有水压，里面有负压。。。。。

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