光电工程师社区

标题: IC/5控制问题 [打印本页]

作者: zhangking 时间: 2009-2-6 08:54
标题: IC/5控制问题
我们使用的是IC/5镀膜,用 inficon 6MHZ的晶振片。最近发现 200多nm厚的膜系在差不多的真空和温度下，有时候中心波长会跑40nm 以上。检查水冷正常，只是IC/5晶振头上压晶振片的陶瓷碎了一点。但是这个陶瓷碎了已经很久了，以前一般中心波长跑20nm以内。而且晶振片的寿命和活力我们一般都控制在3左右和550以上。新的晶振片装上去都是0/600多的。但是镀出来还是跑的比较多。
请问各位大虾有何高见？

作者: zzzz 时间: 2009-2-6 11:15
接触不好能没影响吗
换个新的试试

作者: lunik 时间: 2009-2-6 11:49
发现ZZZZ真是大师，一语到位，呵呵。接触不好，肯定是有问题的

作者: zhangking 时间: 2009-2-6 15:23
这个东西买个比较贵，因为是和晶振头一起卖的，谢谢ZZZZ
我检查过环形弹簧，指型弹簧，都很好，没有问题，难道就是压晶振片的陶瓷碎了点边的影响？

作者: zhangking 时间: 2009-2-11 15:15
顶下，求助。。。。。。。。。。

作者: richjieyu 时间: 2009-2-11 16:44
那个的原理就是，电磁振荡，压电陶瓷是起传递和转化信号的，影响是肯定有的。
但是你说的有时就是意思有时好，有时不好，温度均匀性看看，另外就是比较比较好和时候和不好时候其他条件有什么不同，才能找出问题。如果是一直不好的话，那就是压电陶瓷有问题了。
此上仅供参考。！

作者: Ion.source 时间: 2009-2-11 18:25
要求精度越高,细节越重要. 镀膜就是这样, 要注意所有的细节.

作者: xiazg 时间: 2009-2-12 13:03
嘉兴晶控电子有限公司提供高品质的晶振片,适用与IC-5和DC360的机型15068338773夏先生

作者: zhangking 时间: 2009-2-12 18:01

那个的原理就是，电磁振荡，压电陶瓷是起传递和转化信号的，影响是肯定有的。
但是你说的有时就是意思有时好，有时不好，温度均匀性看看，另外就是比较比较好和时候和不好时候其他条件有什么不同，才能找出问题 ...
richjieyu 发表于 2009-2-11 16:44

有时的原因是因为真空度不同，因为要大量充氧，所以没办法保证都一样的。郁闷

作者: JZNT 时间: 2009-2-17 10:08
用晶控来镀膜就是这样，不能保证波长的稳定，用光控就不存在这个问题了。你的变化太大，应该象上面几位说的压晶振片的陶瓷碎了，最好换一个试一下就可以判断，是否是这个原因了。

作者: zzzz 时间: 2009-2-18 09:37
做镀膜的悲哀
出了问题都跟老黄牛是的找工艺问题，谁让设备或配件都贵的跟老虎一样。

作者: jhxxmlhk 时间: 2009-2-20 10:43
用晶控控制物理膜厚是很准确的，中心波长左右漂移是光学膜厚变化了，也就是说膜料折射率变化了，再推上去就是真空度和充氧方式的问题。
建议你根据自己的机器选择固定流量或固定真空度方式充氧，日本机固定真空度，性能差点的机器就固定流量。
清机后同样的膜厚镀下来光谱会往短波跑40nm很正常。
sensor life用到 2 就要换了，越到后面就不灵敏了，会镀多。
温度也要注意点，冷镀的话需要保证10分钟的恒温时间（Delay time）。
镀膜起始真空度保持一致！
做仔细点，控制在10nm内没问题。我自己作业的时候连续镀三炉，反射光谱几乎都重合的，没漂移，呵呵。。。

作者: zhangking 时间: 2009-2-20 11:29
楼上的大哥你sensor life 用到2 就换了，晕阿，一片inficon crystal chip 6Mhz 要接近60块哦
我们是发现多层的跑的比较多，单层或者双层的在+/-20以内，一般是-20~0内，因为没有离子辅助，需要漂下的。现在是多层跑的比较多，6层的，每层200多nm的可以跑+/-50nm；单层和双层的是偶尔会跑个30左右。

作者: jhxxmlhk 时间: 2009-2-20 15:12
我说的nm是波长。sensor用合金的好点，也不到60元，你们采购黑了点吧。我镀5层膜中心波长控制在10nm内.

作者: yogankin 时间: 2009-7-6 14:59
我是嘉兴晶控电子有限公司的,我公司主要从事晶振片的生产,采用全进口设备生产,质量跟进口INFICON,FILTECH一样,价格较进口的有很大优势,成都光机所使用我们的晶振片.我们的客户有水晶光电,凤凰光学,日本京瓷等.附件是我公司的简介,如有需要我们可以提供样品试样.谢谢
联系方式:0573-83221133,15888310198杨先生

作者: yogankin 时间: 2009-7-6 15:12
我是嘉兴晶控电子有限公司的,我公司主要从事晶振片的生产,采用全进口设备生产,质量跟进口INFICON,FILTECH一样,连续4年出口美国市场.价格较进口的有很大优势,我们的客户有水晶光电,凤凰光学,日本京瓷等.附件是我公司的简介,如有需要我们可以提供样品试样.联系方式:0573-83221133,15888310198杨先生

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