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标题: AR膜大曲率边缘膜层附着力不良 [打印本页]

作者: singlewolf 时间: 2009-2-20 17:20
标题: AR膜大曲率边缘膜层附着力不良
镀得AR膜，镜片曲率大，在边缘有月牙状脱膜，其他区域均OK，脱膜区域及周围耐磨性OK，周围附着力良好，判定脱膜区域附着力不良。

整炉镜片具有同一性，镜片的脱膜位置具有一定的规律性。

前清洁工作为超声波清洗。

求教中……

作者: Lxykoko 时间: 2009-2-20 21:47
边上没清洗干净,是不是镀完看不到,再次清洗就掉膜了?

作者: noodlesy 时间: 2009-2-20 22:26
1# singlewolf

你的镀膜机不干净吧？

作者: singlewolf 时间: 2009-2-21 08:30
正如2#说的那样，虔诚求教中……

作者: 随风2008 时间: 2009-2-21 12:01
镜片夹具可能不干净

作者: singlewolf 时间: 2009-2-21 13:30
另外说明一下，掉膜部位跟膜厚的分布有关，具体的来说是掉膜的位置和镜片在炉内罩上分布有关。

恳切求教中……

作者: filmgy 时间: 2009-2-21 17:17
外圈更严重吧?是薄膜成膜时蒸汽入射角的关系

作者: singlewolf 时间: 2009-2-21 18:14
是啊，有没有什么解决的办法？

为什么会有时候脱膜有时候不脱的？

搞不清楚是什么规律了都！

作者: singlewolf 时间: 2009-2-22 07:31
改善的办法……

求教中……………………

作者: 13599929219 时间: 2009-2-22 09:13
你有没有开离子源还有你做的是什么镜片。

作者: 13599929219 时间: 2009-2-22 09:15
加我QQ79293732聊的比较方便（附镀膜）

作者: singlewolf 时间: 2009-2-22 18:49
求教中……恳请路过的、参观的帮帮忙

作者: wandao008 时间: 2009-2-22 21:30
没有更好的办法，
1、换行星旋转
2、提高真空度
3、提高温度

作者: Lxykoko 时间: 2009-2-22 22:37
是不是边缘部分的膜色看起都淡得多呀?你用的什么膜系做的呀?

作者: singlewolf 时间: 2009-2-23 08:54

没有更好的办法，
1、换行星旋转
2、提高真空度
3、提高温度
wandao008 发表于 2009-2-22 21:30

谢谢了，但是没有用过行星夹具，不知道改善效果究竟如何，能对边缘张角89度左右的镜片有多大程度的改善？

作者: zzzz 时间: 2009-2-24 08:08
总还是回有"死角"地
多大的曲率?
IAD了吗?

作者: xhyoungi75 时间: 2009-2-25 09:02
会不会是装片员工没有安作业标准作业引起的手指印呢？

作者: singlewolf 时间: 2009-2-25 11:05
以上都已经排除了，现在可以确认与镜片的曲率有关系，镀膜得蒸发角带来的问题。但是现在没有改善的办法（一些常用的手段已经作了，但曲率太大，没有好的效果），而且存在用同样的控制方法去做，但是结果不经相同，耐磨性都没有问题，但是超声波清洗却发现有时成片脱膜（整炉，区域在镀膜蒸发角大的地方边缘、月牙形，大小与镜片在炉内的位置有关），有时又不脱膜，很头疼，摆脱各位帮帮忙，出出点子。

作者: filmgy 时间: 2009-2-25 15:18
7# filmgy

这肯定没规律的,唯一的办法就是减小蒸汽入射角,可换行星运转或将蒸发源往箱壁处移,但具体要自己做实验哈

作者: filmgy 时间: 2009-2-25 15:24
8# singlewolf

这肯定没规律的,唯一的办法就是减小蒸汽入射角,可换行星运转或将蒸发源往箱壁处移,但具体要自己做实验哈,也可加离子源试试哈

作者: singlewolf 时间: 2009-2-25 19:12

8# singlewolf

这肯定没规律的,唯一的办法就是减小蒸汽入射角,可换行星运转或将蒸发源往箱壁处移,但具体要自己做实验哈,也可加离子源试试哈
filmgy 发表于 2009-2-25 15:24

往箱壁处移？还是远离箱壁？

我设备挺多的，各个机器的电子枪位置都有点不同，我已经试过了，包括其他的一些常用的手段，但很遗憾，我没有行星盘也没有离子源，不知道我应该先配哪种？效果究竟怎么样？能解决我这个问题么？
近似半球的能搞定么？

作者: zzzz 时间: 2009-2-26 08:17
半球的东西要镀匀了有点难

作者: 森林小树 时间: 2009-2-26 10:32
改变膜料，曲率大的有些药材镀上去很不耐洗

作者: 北方孤鹰 时间: 2009-2-26 20:13
1.我同意你说的蒸发角度的说法
2.还有对于R比较小的镜片还有一个问题，就是在你超声波的时候边缘容易有篮子的夹痕（或叫超声波聚集）
也会出现膜不牢，你超完用强光灯看看有没有或找老师傅手擦在镀试试看
希望能帮到你

作者: Lxykoko 时间: 2009-2-26 22:16
建议你换个膜系试一下,加我QQ183603818,前不久我刚遇见和你一样的问题,现在已经搞定了.

作者: filmgy 时间: 2009-2-27 17:22
可加我qq245924238,大家相互学习学习.附sinlewolf

作者: zzzz 时间: 2009-3-2 08:40
牛人真多
我还以为半球要镀匀了除改镀膜方式或设计专用夹具外,还能有这么多其他可能

作者: hong 时间: 2009-3-4 17:36
可加离子源试试哈
1、换行星旋转
2、提高真空度
3、提高温度

作者: lkwxp 时间: 2009-3-6 01:56
1 加离子源吧！提高一下膜层致密度，会好点！
2 如果你说的是宽带，冲氧真空度也挺重要。
3 可以试一下，先镀膜后磨边。
一点拙见，仅供参考。

作者: ferry 时间: 2009-3-24 17:20
也在镀近半球形的大曲率的东西，用行星架，倒是没发现附着力的问题，但明显耐磨擦性能最边上要差太多。不过，即使用行星架，由于曲率太大（半球），膜层的均匀性还是很差，转速，摆角改变都改进不大。

作者: guangang 时间: 2009-3-25 20:28
第一,研磨问题,镜片边缘最后抛光的时候基本抛不到,边缘的光洁度较差;
第二,清洗时边缘清洗不到位(凹面比较严重些);
第三,镀膜蒸发角度的问题,再前2个问题解决后,可以试验只放工件盘的中上部看看;

作者: 小技工 时间: 2009-6-25 15:10
主要原因是薄膜与基底入射角接近了“0”度，解决办法使用离子源、提高温度、膜系改善

作者: zzzz 时间: 2009-6-26 09:02
楼上的,入射角接近0度用离子源能改好吗
怀疑ING

作者: jhxxmlhk 时间: 2009-6-26 12:34

建议你换个膜系试一下,加我QQ183603818,前不久我刚遇见和你一样的问题,现在已经搞定了.
Lxykoko 发表于 2009-2-26 22:16

多镀几层，膜厚度增加？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？

作者: ghtzna 时间: 2009-6-26 21:37
shutter 的问题，况且外围膜层最薄

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