光电工程师社区

标题: 关于镀膜表面不好怎么解决? [打印本页]

作者: holdout@163 时间: 2009-2-25 12:32
标题: 关于镀膜表面不好怎么解决?
最近镀出来的片子表面不是很好,老是有灰蒙蒙的一层,(小点子似的)整个面都有,很均匀的,机器(700)清洗过的,最近南方的天气不是很好,连续下了半个月的雨了,和天气有关吗?还是有其他的原因,望高手指点!

作者: bomolaonan 时间: 2009-2-25 13:21
你镀的是什么膜，加烘烤吗，是用扩散泵的吗？设备本身、工艺、环境等等都有可能产生那些现象的

作者: Ion.source 时间: 2009-2-25 16:40
湿度会有影响, 但不是唯一的

作者: 9080765256 时间: 2009-2-25 17:55
换材料试试。
重新融一下或者换家材料试看看呢

作者: zzzz 时间: 2009-2-26 08:18
玻璃是什么材料的？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？

作者: holdout@163 时间: 2009-2-26 08:29
玻璃是k9\H-LAK51,镀的是3AR,加烘烤,用扩散泵,麻烦高手指点!

作者: noodlesy 时间: 2009-2-26 09:52
6# holdout@163

材料是哪家的？

作者: zzzz 时间: 2009-2-26 11:25
K9的应该没问题吧,
有问题的应该是H-LAF51吧

作者: holdout@163 时间: 2009-2-26 12:56
两种玻璃材料都有的都有的,镀膜材料用的是镇江大恒和巨玻的

作者: shuangzixing 时间: 2009-2-27 18:36
镀膜啥材料。速率多少

作者: holdout@163 时间: 2009-3-2 09:31
AL2O3 HFO2 MGF2 蒸发速率不快的

作者: hong 时间: 2009-3-2 22:47
表面不好与膜料，速率有关，你们镀膜是有冲氧气吗，氧气不干净也会有这种现象，我们以前也碰到这种样子。试了好多办法，包括换料，清洗机器，还有降低速率，都不行，最后吧氧气换掉后，一试就好了。你不妨也试试看

作者: holdout@163 时间: 2009-3-3 08:38
我们不充氧的!

作者: JZNT 时间: 2009-3-3 10:08
用离子源吗？离子源清洗不干净也有可能

作者: holdout@163 时间: 2009-3-3 16:00
不用的,就是南光的700

作者: bomolaonan 时间: 2009-3-3 16:52
扩散泵口有冷阱吗，会不会是扩散泵返油所致

作者: holdout@163 时间: 2009-3-5 08:33
有冷井的,我拆百叶窗看过了,没反油的!

作者: 38368323 时间: 2009-3-5 20:17
把源换了吧，应该是这个问题了

作者: holdout@163 时间: 2009-3-6 08:26

好的,再看看吧

作者: 漂流四方 时间: 2009-3-7 15:28
楼上的你感觉南光机器好用吗？我用的是 500的，我们可以经常交流啊285525626

作者: holdout@163 时间: 2009-3-9 08:28
恩,好的,我也用过500不过不是镀膜用的,是熔料用的

作者: yjl827 时间: 2009-3-9 10:31
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作者: 999520 时间: 2009-3-16 18:40
将氧气换一下，将材料再换一下！应该是没有问题的！

作者: dbythy 时间: 2009-4-1 23:09
你是真空溅射镀膜吗?检查一下靶材?看一看清洗系统?

作者: wazxq 时间: 2009-4-2 10:24
论坛上提问题时候最好先把问题说清楚，最好有图片之类的，解答的人才好针对。
光洁度是很复杂的问题。

作者: holdout@163 时间: 2009-4-2 10:41
恩,以后知道了

作者: gxbm 时间: 2009-4-2 15:57
氟化镁、、、、、、、、、、、、、、、、、

作者: brighttj 时间: 2009-4-10 17:12
楼主的问题解决了吗？我们用的是南光ZZS550，也遇到了同样的问题，介绍介绍经验啊

作者: ren619 时间: 2009-4-14 18:05
环境怎么样
11啊？

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-26 15:41
楼上关于氧气的说法能不能说的具体点，都SIO2时充氧啊

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