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标题: 磁控溅射镀铝膜发灰 [打印本页]

作者: bluesea_718 时间: 2009-2-25 13:25
标题: 磁控溅射镀铝膜发灰
我们用磁控溅射工艺给大型天文望远镜镀铝膜，但是发现镀出来的铝膜中间发灰，边缘是正常的，我们的溅射源用的是圆形溅射靶，不知道是否有大虾能指点一下，谢谢！

作者: zzzz 时间: 2009-2-26 08:26
靶多大
中心区域是否消耗过多或氧化

作者: noodlesy 时间: 2009-2-26 09:53
1# bluesea_718

只是铝吗？没有其他保护层？

作者: bluesea_718 时间: 2009-2-26 10:49
铝靶有效溅射面积直径130mm，中心区没见消耗过多，现在铝靶表面有一个刻蚀圆环，只是溅射铝膜，没有保护层

作者: noodlesy 时间: 2009-2-26 11:01
4# bluesea_718

和真空会不会有关系？

另外，靶材是新的吗？使用多长时间了

作者: zzzz 时间: 2009-2-26 11:23
铝膜发灰区域同靶的刻蚀区域能对应起来吗?

作者: bluesea_718 时间: 2009-2-26 13:28
我们的靶材有一段时间是暴露在大气中的。
大概可以对应起来，边缘的铝膜还是比较亮的。
不知道国内是否有做圆形磁控溅射阴极（磁控溅射源）比较好的厂家

作者: zhouchen910705 时间: 2009-2-26 21:00
看是不是清洗问题，氧化造成啊

作者: noodlesy 时间: 2009-2-27 03:09
7# bluesea_718

深圳欧来吧!

作者: ahei777 时间: 2009-3-12 13:34
可能是厚度不均匀,如果氧化的话应该边缘也有相同的颜色.另外靶材没有露铜的话应该没事,因为磁控溅射基本上都有蚀刻环的,主要是因为下面的磁铁磁场分布导致的

作者: zzzz 时间: 2009-3-12 16:19
换个新靶试试.....................................

作者: stonetiny 时间: 2009-3-12 20:08
有磁控溅射镀金的吗？

作者: vacuum0714 时间: 2009-3-20 13:33
基板治具有無公轉或自轉呢.還是基材與圓靶是相對的

作者: dbythy 时间: 2009-4-1 23:01
本帖最后由 dbythy 于 2009-4-1 23:04 编辑

............ 改用矩形靶或孪生靶,呵呵.................打开检查磁场对否?用的什么惰性气体?

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