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标题: 求助SiO2镀膜 [打印本页]

作者: zhangking 时间: 2009-2-25 14:06
标题: 求助SiO2镀膜
用环形装SiO2镀高反的时候，坩埚需要转动，可是南光的机器，转动最慢最稳定是0.8rpm，这个速度有点快，SiO2还没熔就转过去了，镀出来的零件上明显有很多点。请问一般的转速应该是多少？镀出来的零件有没有问题？

作者: filmgy 时间: 2009-2-25 15:21
确定点子是蒸发SiO2引起的?

作者: zhangking 时间: 2009-2-25 23:10
应该是的，因为在SiO2转动的过程中，蒸发速率不稳。所以想知道大家是怎么用环行坩埚镀SiO2的

作者: zzzz 时间: 2009-2-26 08:11
SIO2不会熔化,要是熔了就没啥东西了

作者: holdout@163 时间: 2009-2-26 08:32
我们用的也是南光的,镀sio2的时候也是环行锅,没有你说的那种现象啊,再找找其他看有没原因,

作者: noodlesy 时间: 2009-2-26 09:49
1# zhangking

你们那是自动转的？好象一般是手动的，按纽

作者: zhangking 时间: 2009-2-26 12:39
自动转的，最小速度是0.8rpm，但是这个速度还是比较快，蒸发速率不稳。楼上的我们试了手动的，就是镀好一层转点，但是几十层后，就基本找不到新的地方了

作者: zhangking 时间: 2009-2-27 12:59
别沉阿，还没解决呢。。。。。。。

作者: noodlesy 时间: 2009-2-27 15:44

自动转的，最小速度是0.8rpm，但是这个速度还是比较快，蒸发速率不稳。楼上的我们试了手动的，就是镀好一层转点，
zhangking 发表于 2009-2-26 12:39

"但是几十层后，就基本找不到新的地方了"是什么意思啊

作者: shuangzixing 时间: 2009-2-27 18:23
我们也是南光的但已经叫他们技术员换过转速了，现在镀膜的时候转速可以很慢很慢。

作者: zhangking 时间: 2009-3-1 14:16
楼上的，很慢是多少转？
9楼就是到处坑坑洼洼的，找不到可以有稳定速率的平的膜料

作者: zhangking 时间: 2009-3-2 16:28
没人用过吗？
郁闷阿

作者: 999520 时间: 2009-3-2 17:36
用柱状的SIO2应该会好点。不妨试试！不要用自动转的坩埚，用手动的！

作者: JZNT 时间: 2009-3-3 10:29
我们用的是环形的，但没你说的那种情况镀完后还是平的，速度快应该不会有白点

作者: zhangking 时间: 2009-3-3 20:52
楼上的你们速率稳定吗？

作者: lukaiyan 时间: 2009-3-10 17:39
请问是用一种材料吗？有没有TiO2啊。我觉得和转速没有关系，一般SiO2不会有飞溅的。

作者: longxiulin 时间: 2010-11-17 14:15

作者: yezhi381009880 时间: 2010-11-18 21:20
你只能是在光斑大小，膜料的种类，还有坩埚转数上下功夫咯。柱状硅料光洁度的确好很多

作者: z1206l 时间: 2010-11-19 09:18
楼上的是绝对的高手啊。

作者: 终南子 时间: 2010-11-28 22:09
坩埚转速不是影响这个的决定因素,看看有没有预熔彻底

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