标题: 薄膜沉积工艺与技术手册(英文版),pdf格式,无权限要求 [打印本页] 作者: ttphead 时间: 2009-2-26 10:39 标题: 薄膜沉积工艺与技术手册(英文版),pdf格式,无权限要求 HANDBOOK OF THIN-FILM DEPOSITION PROCESSES AND TECHNIQUES
Principles, Methods, Equipment and Applications
Second Edition
Edited by Krishna Seshan
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Santa Clara, California
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