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标题: 求助磁控溅射 [打印本页]

作者: liumichael 时间: 2009-3-12 12:16
标题: 求助磁控溅射
射频磁控溅射机能不能不用靶材，直接轰击里面的Ar气产生等离子，对基材进行等离子镀膜？

作者: ahei777 时间: 2009-3-12 13:35
没有靶材只能做预清洁..镀不上东西的把

作者: zzzz 时间: 2009-3-12 16:18
基座是什么材料的啊
高不好就把基座镀上去了

作者: liumichael 时间: 2009-3-14 10:02
我现在就是急切的想知道，射频磁控溅射机到底能不能做等离子溅射？那位能手给我解答一下，万分感谢！

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