光电工程师社区

标题: 我们的滤光片上面的SIO2颗粒太多了,是怎么弄上去的? [打印本页]

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-12 19:08
标题: 我们的滤光片上面的SIO2颗粒太多了,是怎么弄上去的?
滤光片(原板)镀膜后,发现有亮点和白点,(有时候还会有一层雾或者砂,),有高倍显微镜观察后发现是SIO2颗粒,有大有小,我想知道是怎么弄上去的,我们现在用的是国产的SIO2,是不是我们真空度/镀膜速度/烧药速度或者光圈大小/能量/电子枪冷却水之类的镀膜条件不适当产生的.谢谢大家,希望能给个建议.谢谢

作者: ghtzna 时间: 2009-3-12 19:43
电子枪牛角打磨没，机台脏不，备料时是否有污染，还有就是你速率是多少

作者: jiayuch 时间: 2009-3-13 13:25
显微镜能看出材料来？难道显微镜有质谱分析功能？

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-13 18:48
都打磨了,完全干净,药物是中国的,速度:SIO2-11,TI3O5-2,
我们用高倍显微镜观察(500倍)发现是白色的颗粒状,都是一个形态,分析是SIO2但是不确定,
谢谢大家帮助

作者: lonely 时间: 2009-3-13 23:30
你可以尝试把温度升上去看看

作者: ghtzna 时间: 2009-3-14 08:42
机台真空度怎么样？
有可能是脏污，是不是那种长条状的

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-14 09:44
不是长条的,是圆圆的和不规则的小小的颗粒状,升高的是镀膜温度呢还是烧药的能量?谢谢

作者: 38368323 时间: 2009-3-16 21:11
是源有沾污了吧，好好清洗坩埚，换新源吧

作者: shaodong1311 时间: 2009-3-16 22:37
镀膜机看来是有离子源了，我看是蒸发速率太快了，降到8看看。功率大引起喷溅！

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-17 10:05
速度已经下降到6了,可是还是不行,我们已经每锅都认真清扫源,可是还是这样,现在都头疼.希望大家能给更多的建议.谢谢大家了.

作者: lpma_2000 时间: 2009-3-17 16:04
换药试试？

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-17 16:54
换药,正在做,看看结果吧,谢谢啊,结果随后公布

作者: paganini 时间: 2009-3-19 08:51
记得在04年的时候,这个论坛上讨论镀滤光片的贴子几乎没有,现在有进步啊.哈哈

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-21 10:14
还是没解决,拜托各位给个详细的解决方案

作者: lukaiyan 时间: 2009-3-22 17:29
应该不是SiO2颗粒，你们使用的另一种材料是什么？我觉得SiO2不会有飞溅的现象。

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-23 10:07
能把邮箱给我吗,我把相片给你发过去,您帮我看看

作者: zzzz 时间: 2009-3-23 13:38
是用什么样的SIO2?
试换电子枪灯丝

作者: jinfeng 时间: 2009-3-23 13:56
降低速率增加欲融时间，换材料不行就换把枪试试，加离子源不行就停离子源试试，先镀单层的，一定可以找到原因的，关注中。。。

作者: zt0123456789 时间: 2009-3-23 15:03
sio2和ti3o5预熔怎么样

作者: lukaiyan 时间: 2009-3-23 18:09
我的QQ805181662
邮箱lu-kai-yan@163.com
可以探讨一下

作者: hong 时间: 2009-3-23 20:28
你先把每种材料各自做一次试验，镀到相应的厚度，看看是哪一种有问题，如果是电子枪有问题的话，应该每种都有点子。SIO2预熔时光斑应该扫描大一点，如果还不行，那换柱状的SIO2试试！

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-24 12:35
17# zzzz

用的是中国阿石创的SIO2,灯丝是日本的,用着一般

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-24 12:36
19# zt0123456789

欲熔时间还可以,目前正打算改变欲熔时间,

作者: suixinnihaoa 时间: 2009-3-24 12:37
18# jinfeng

下步按照你说的做.

作者: lukaiyan 时间: 2009-3-25 18:31
一、控制车间湿度，太干燥了容易出现针孔现象
二、防止静电的产生，所有台车要接地，人员最好穿防静电服
三、确认镀膜机粗引时候的速度，调小SRV阀门的气体流量，延长RV的打开时间，尽量减小炉内的气体流动过快而使灰尘飞起来。（可以做实验来确认）
大气导入时，速度也不要太快啊

作者: lukaiyan 时间: 2009-3-25 18:33
如果车间的空气不太干净，就不要开离子风扇了

作者: fql3310 时间: 2009-4-11 17:49
颗粒状的SIO2用来镀滤光片比较不好,改用环料(APS1104镀膜机)较好,TIO2膜料本身镀出来光洁度差(一般用的是便宜的膜料).以你所提供的速率来看,对光洁度影响的最大的为SIO2后TIO2.如果是有一层雾或者砂应为TIO2的问题(TIO2受到污染,要注意),如果是亮点和白点的为SIO2的问题(如果有条件可以改环形块料SIO2,如果没有条件的话镀膜过程中功率要控制好,不要一下子升太高的功率).
还有离子源/电子枪/真空室对薄膜的光洁度也有一定的影响.不常在线,联系邮箱:fql3310@163.com

作者: fql3310 时间: 2009-4-23 17:44
这人有点不厚道,怎么没有跟贴,说了白说.......

作者: john03062003 时间: 2009-5-10 19:10
是不是离子源的能量太大了，或者参数没有设置好，你用的是什么源？国产的还是进口的？

作者: holdout@163 时间: 2009-5-11 11:50
是不是机器不怎么干净啊

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