光电工程师社区
标题:
南光镀膜机问题求教
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作者:
漂流四方
时间:
2009-3-13 16:57
标题:
南光镀膜机问题求教
我使用的是南光500型号的,最近在打开真空室以后,擦洗时发现又很多油垢,但是没有发现返油现象,是什么原因导致的?
作者:
ghtzna
时间:
2009-3-14 08:45
肯定有返油
再仔细查查
作者:
zao
时间:
2009-3-14 09:57
肯定有返油,小心了 哦
作者:
漂流四方
时间:
2009-3-14 12:56
那是什么原因引起的返油现象呢?
作者:
GR800322
时间:
2009-3-16 15:48
扩散泵多多少少都会反一点的。值得注意的是关机器时一定要等扩散泵冷却下来!!
作者:
漂流四方
时间:
2009-3-16 17:07
扩散泵多多少少都会反一点的 ,看来是正常情况了?
作者:
999520
时间:
2009-3-16 18:29
将机器好好的清洗一遍!然后再抽真空,隔夜看是否还有油迹再问一下,你的机器是不是很久没用了?
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