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标题: 渡膜机真空度问题求救！！！！ [打印本页]

作者: lhz2009 时间: 2009-4-10 16:25
标题: 渡膜机真空度问题求救！！！！
各位大侠，小弟求教一个问题：
今天渡膜机的真空度抽不下来，一直维持在8.6E-3，该怎么检测才比较快速有效呢？我用酒精发现效果不好，没有找出原因，请教方便简单的检测方法。
仪器型号，ZZSX-800,北京仪器厂，2001年制造。

作者: jinfeng 时间: 2009-4-10 17:18
手头没有检漏仪的话也没有什么好办法了
需要经常动的真空室接口的地方仔细检查检查吧，祝你好运！

作者: holdout@163 时间: 2009-4-13 10:49
用丙酮的效果要好点!

作者: AR_coating 时间: 2009-4-14 04:24
3# holdout@163

丙酮 can etch the O-ring, not recommend.
In case of this kind of leak, please check all the O-rings.

作者: 2009 时间: 2009-4-14 08:43
接口的地方仔细检查检查吧..... http://www.opticres.org

作者: 13599929219 时间: 2009-4-14 09:48
先确认一下最近有没有动什么东西，把动过的地方用丙酮检一下。另外就是查你经常有在动的东西如档板高阀等问题。如果有别的问题可以加我QQ79293732（附镀膜）直接和我聊就好了。

作者: JZNT 时间: 2009-4-14 15:23
主要是接口和经常活动的地方例如各类挡板和观察窗口处

作者: wazxq 时间: 2009-4-14 15:41
隐蔽的地方没有检漏估计很难

作者: Ion.source 时间: 2009-4-14 18:39
真空问题不是急得来的,有时看运气
1. 排除放气的可能
2.捡漏,看看最近这台机被动过什么地方
3. 分别转动挡板,工件盘等转动的部分,看看真空度是否有跳动

作者: 师婷婷 时间: 2009-4-15 15:13
顶个，有需要晶振片盒晶控片的可以联系我咯···价格实惠，质量有保证！

作者: riy2000 时间: 2009-4-19 00:10
仔细找能找到的，先看看动过些什么喽。。

作者: ymrtgobn 时间: 2009-5-3 14:11
一般都是转动系统漏气的较多可先看看这个

作者: 涛哥 时间: 2009-5-4 16:58
把真空计保养一下，我有这样的经历，其实根本没有漏真空。

作者: john03062003 时间: 2009-5-10 18:59
还有，看看你的真空计和ZJ-27电离规管有没有问题？

作者: holdout@163 时间: 2009-5-11 11:52
用丙酮的效果会好点的!

作者: diaodiao315 时间: 2013-2-18 17:22
有时可能是气动阀门内漏一些气体，酒精、丙酮检不出来，不过一般这些气体都多些，真空度低些

作者: HGcoating 时间: 2013-2-19 10:49
建议先判断是高真空还是低真空出问题，先保证高真空OK现来检查真空室及管道各部分。

作者: chao_li0622 时间: 2013-2-21 09:40
主要是常动的那些地方，慢慢找吧，这个是急不来的

作者: 壞娚絯じ☆ 时间: 2013-3-1 19:52

作者: 飛兲寶赑 时间: 2013-4-8 18:52

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