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标题: 油扩散泵返油？ [打印本页]

作者: fawang 时间: 2009-4-11 14:33
标题: 油扩散泵返油？
若一真空腔有5个油扩散泵，如果同时打开扩散泵的高抽阀，前级管道的压力会上升，如果压力上升太多是否会引起返油？

作者: jkjkjk 时间: 2009-4-11 17:13
开高阀前要对真空室抽低真空,不抽的话油要氧化

作者: 宇宙深处 时间: 2009-4-12 10:16
前级真空要比腔体内的真空要高!!!!!!!!!!!

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