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标题: 请教下电子束扫描点问题 [打印本页]

作者: jonying    时间: 2009-4-22 12:18
标题: 请教下电子束扫描点问题
各位下午好!请问假如Position设置最大值(X50,Y50),那么这点打在坩锅哪个位置,刚好靠边还是哪里?另外X和Y Scan扫描是设置的什么扫描线图吗?请详细讲解下,不胜感激!
作者: jonying    时间: 2009-4-22 21:45
自己先顶下…希望哪位高手来讲解下。
作者: longmin    时间: 2009-4-28 22:23
Position设置位置x,y的一半,為坩锅中心,但可能因其他因素而偏移
X和Y Scan扫描,是控制電子束的大小
作者: jonying    时间: 2009-4-30 17:43
恩,现在明白了!THX,呵呵




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