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标题: IR CUT 镀膜求教 [打印本页]

作者: ren619 时间: 2009-5-12 13:46
标题: IR CUT 镀膜求教
IR 镀膜，药品一般速率要求多少，目前没有使用离子源，使用晶控分光外观
控制都不好 .出现红点亮点（使用点光源检查出现（150W) 使用环形光源（150w）看不见
，请教除去方法先感谢 .电子枪是否有影响，目前使用 180° 偏转的 .与 270° 的电子枪有差异么。。机器韩一使用离子源后满面白点，故没有使用ION/B

作者: zzzz 时间: 2009-5-13 09:10
理论上270的优于180,具体看使用
你的设置速率是多少了?

作者: ren619 时间: 2009-5-14 13:55
ti3o5 2.5a/s
sio2 12a/s

作者: 随风2008 时间: 2009-5-14 19:19
ti3o5 有点慢 sio2 有点快

作者: ren619 时间: 2009-5-15 11:15
没用离子源，TI3O5  以前用3.0  ，后改 2.5 的，主要对外观方面不能有好的对策
用 SCHOTT基板入库直接洗净，镀膜后 20X 检查出现 0.02~0.01的点，不良  ；
SCHOTT 基板出库基准为 <0.1mm 的点无视，，郁闷  》》》》

作者: gxbm 时间: 2009-5-18 15:55
速率不快啊，查查磨料吧，，，，，，

作者: ren619 时间: 2009-5-19 08:32
离子源光驰好还是莱宝的好啊

作者: zzzz 时间: 2009-5-19 08:49
入库是<0.1的点,镀后发现0.01-0.02的点应该是很正常的事,谁知道基板上原来有没点

作者: jonying 时间: 2009-5-29 21:56

入库是
zzzz 发表于 2009-5-19 08:49

他好像是放大了吧！20X

作者: 夏宾 时间: 2009-6-4 08:55
国内做具实力晶振片生产厂家,欢迎咨询. 45111585

作者: fql3310 时间: 2009-6-5 20:05
TA2O5代替TIO2,SIO2环料最好,如果是那就没事了.
电子枪吸附灰尘(应该是很多灰尘的.)请每炉都清洁,具体是用氮气吹后用酒精泡,放于超声波里头超2-5分钟.
180度与270度电子枪当然有差别,270度的电子枪较好.180度的电子枪灯丝暴露在外头.起码易变脏.

去膜配方.doc

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只写了一点点的去膜配方,不过有TIO2和SIO2的.

作者: fql3310 时间: 2009-6-5 20:07
哦,忘了说了,有加离子源的镀后满面白点的把离子源拿去吹下下不就可以了?清洗一下就OK的.

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