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标题: 关于测试薄膜光学常数的一个关键问题 [打印本页]

作者: michaelzhj 时间: 2004-2-17 04:43
标题: 关于测试薄膜光学常数的一个关键问题
各位大侠,我有一个问题求教:

由于市场上没有双面抛光的Si基片,所以只有在一面抛光的Si基片上镀制光学薄膜,但是我又想测试薄膜的透射率,单面抛光的Si片由于散射很严重,所以透射很小,肯定得不到薄膜的真实透射率.

我该采用什么办法获得薄膜的透射率.
谢谢您的指点,我很迷茫.我的电子邮件是:michaelluvzhj@hotmail.com

作者: michaelzhj 时间: 2004-2-17 23:05
标题: 关于测试薄膜光学常数的一个关键问题
大家给帮帮忙啊，求你们了

作者: whiterabbit 时间: 2004-2-27 04:52
标题: 关于测试薄膜光学常数的一个关键问题
不知你是想侧什么数据，是折射系数还是投射率，如是前者，直接用椭偏仪测量Si基片上的薄膜，如是后者，可以用透明衬底，如石英玻璃。另外，你需要测量什么薄膜？

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