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标题: 热蒸发机中的几个问题 [打印本页]

作者: icelily_xu 时间: 2009-5-21 10:27
标题: 热蒸发机中的几个问题
最近新近了一台热蒸发机,和老的对比还是有些困惑,希望高手解答!
1.本人是蒸硫化锌的,老机蒸发电流60-70A,硫化锌就开始蒸度,而且速度稳定.新机要加到90-100A,而且开挡板后,速度很慢,速度会在蒸度的过程中逐渐上升,且速度不稳定,可以预热的时间新机比老机要时间长很多.发现生长起来后,旧机的真空稳定在2*10-3Pa,而新机在本底真空相同的情况下,新机的生长真空会在5-6*10-4Pa,明显的说明新机的蒸气流量很小.不知道我这样认为对不对?
2.钼舟的制作大小和电热转换有多大关系? 怎么制作钼舟(长,宽,高)会得到大的转换效率?
3.发现探头和分子泵共振,尽管膜厚仪厂家来人,说不影响膜厚仪探测,但是膜厚还是测不准,有高人给支招解决共振问题么?

先谢谢大家把,希望大家一起进行讨论,发表己见!

作者: fql3310 时间: 2009-5-21 14:50
本人自已的意见,望能采纳一点点就行(以前有电阻蒸发MGF2经验):
1,新机器蒸发电流比旧机高属正常,新机镀膜时真空度比旧机高属正常.因新机抽高真空泵系统都是新的,旧机的高真空系统因为膜料污染(或系统污染,2*10-3Pa这种真空度已经很好的了)真空度没有新机器高.不是你说的新机的蒸气流量很小(蒸镀过程中的放去量少).
2,当然钼舟的凹槽做得比放的膜料高1-2毫米就行了.
3,涡轮分子泵按24000r/min的话,1秒钟400转,属于转动.与石英晶振片的振动的运动模式不同.可能是厂家把扩散泵改装成分子泵之后镀膜机振动比较大,注意观察晶振探头是否在振动.

作者: zzzz 时间: 2009-5-21 15:11
新老机没什么可比性,因为用的配件完全不一样.
电热转化就是电组了,
共振?不太可能了,顶多是分子泵的振动影响

作者: z1206l 时间: 2009-5-24 21:03
怎么能共振呢，晶振的频率可是很高的哦

作者: z1206l 时间: 2009-5-24 21:10
看看晶振部分有没有装好，在镀的时候有么有移动什么的

作者: imgyang 时间: 2009-5-24 22:04
2# fql3310

基本同意fql3310观点，补充一点，蒸发电流和蒸发舟电路中接触电阻也有一定关系，检查一下是否有接触不是很好的地方。

作者: gxbm 时间: 2009-5-25 16:16
蒸发舟尽量做得一样，尤其是大小。

作者: jonying 时间: 2009-5-26 03:50
哇噻！你的100A。我的还是230A呢，防水膜

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