光电工程师社区

标题: 电子枪和离子源疑问 [打印本页]

作者: jonying    时间: 2009-6-4 15:44
标题: 电子枪和离子源疑问
本人使用新柯隆APL-1900DNR,现有两个地方不明白:1.电子枪面板里maintenance detection(设定范围0-1000mA)是什么用涂。2.Material里面离子辅助里有个idol(镜像?)(设置加速电压电流,抑制电压,中和电流)可选启用和关闭两项。射频等离子源…还望知道的朋友告知。谢谢
作者: zzzz    时间: 2009-6-4 16:33
1估计是限位
2还在想IDOL该怎么理解
作者: jonying    时间: 2009-6-4 18:21
限位?具体什么意思呢?IDOL有没有可能是当原设置参数起动失败时就启用IDOL参数起动?高手都出来看看哦…
作者: jonying    时间: 2009-6-6 06:22
别沉了…都没人出来帮下哦。
作者: bailander    时间: 2009-6-7 01:45
参观别人的设备时,看到他们的maintenance detection设置为500,idol选择启用。具体的原因不是很清楚。
作者: jonying    时间: 2009-6-7 06:52
参观别人的设备时,看到他们的maintenance detection设置为500,idol选择启用。具体的原因不是很清楚。
bailander 发表于 2009-6-7 01:45

哦…我这detection10mA。IDOL不启用,郁闷中,资料无从查起,因为不知道是什么作用
作者: jonying    时间: 2009-6-8 12:11
怎么都是有人看没人回呢?伤心…
作者: laoxianccc    时间: 2013-4-27 13:10

作者: 新手求教    时间: 2013-4-28 11:13





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