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标题: PET上镀铝的针孔问题 [打印本页]

作者: 鱼边的水 时间: 2009-6-14 23:48
标题: PET上镀铝的针孔问题
我最近在PET上离子束辅助磁控溅射镀Al（200nm左右）
发现镀完的薄膜上面好多针孔，
对着荧光屏一看，好多亮点
不知是什么原因
望大侠们指教！！！

作者: ghtzna 时间: 2009-6-15 22:41
机台清洁度怎么样
还有速率？

作者: 鱼边的水 时间: 2009-6-15 23:14
基片台清洁度还行
我是间歇式镀膜，小靶，基片台旋转的，一分钟两圈，10nm/min
做了500nm，1000nm的
都出现了相同的问题

作者: zzzz 时间: 2009-6-16 08:53
把整个真空腔先仔细清洁下先

作者: 鱼边的水 时间: 2009-6-16 20:00
嗯，明天试试
多谢指教

作者: 陈岩 时间: 2009-6-16 21:03
是你打底的问题。设备清洁度不是关键

作者: zzzz 时间: 2009-6-17 09:19
也许设备清洁度不是关键,但这是前提

作者: 鱼边的水 时间: 2009-6-18 20:00
今天我把设备完全清理了一遍
再镀，200nm，500nm
还是都出现了针孔，但稍有好转
难道是我的PET基底本身有问题？
望大家畅所欲言
先谢过了！

作者: tuzige 时间: 2009-6-19 09:52
可能是基底本身的问题

作者: zzzz 时间: 2009-6-19 13:00
8# 鱼边的水

设备清洁好了,问题没解决
那就考虑PET是否清洁干净了

作者: gxbm 时间: 2009-6-19 15:54
基底清洁？镀膜材料？真空室清洁？你都查了？先动手在说话。

作者: 鱼边的水 时间: 2009-6-22 21:44
清洁没问题
我是在净化间做实验的，基片和镀膜机是做光学薄膜用的，整的很干净
请问各位大侠，
有没有在这方面取得进展或已经解决了的
可以一起合作
可以联系我
wjhsky6@126.com

作者: ysc212 时间: 2009-6-22 23:09
应该是基底没有清洗干净，或离子源功率太大了

作者: 鱼边的水 时间: 2009-6-24 23:47
离子源功率过大？
有可能是原因之一
我用的离子源是大电压小电流型的
但，我镀了1000nm
还是有针孔
不知为何

作者: zzzz 时间: 2009-6-25 08:30
那就减少电压加大电流试试

作者: 鱼边的水 时间: 2009-6-26 22:21
电荷积累？？？？？？？？？？？？？

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