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标题: 求助！镀膜问题，帮帮忙吧大哥们 [打印本页]

作者: lff207 时间: 2009-7-12 21:30
标题: 求助！镀膜问题，帮帮忙吧大哥们
哪位大哥帮帮忙
小弟刚开始做磁控溅射镀膜
刚开始的时候还行
但清洗了一次挡板和屏蔽罩之后
不知道什么原因有辉光但是几乎镀不上膜
急啊！
现在的情况是有辉光但是看上去比较散开颜色也比较淡
在玻璃上直流溅射一个小时的铝膜
还几乎什么都没有
玻璃还是透明的
本以为是靶材的问题
换了还是不行
加功率换气压都没有效果
不知道问题到底出在哪了
哪位好心的大哥帮帮忙啊

作者: zzzz 时间: 2009-7-13 08:24
这设备故障了
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作者: lff207 时间: 2009-7-13 08:59
有没有解决的方法
是哪部分的问题
散开的表现为原来好的时候有一个比较亮的圆锥
现在好像是圆锥的尖部分不切掉了也没有以前亮

作者: zzzz 时间: 2009-7-14 08:20
具体的不接触过
估计磁场或电场有问题
辉光了但没镀上膜,功率不够?
还是问问产家了

作者: 鱼边的水 时间: 2009-7-16 21:17
会不会是靶没装好
靶的其他地方起辉了？

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