光电工程师社区

标题: 请教高手振镜失真问题 [打印本页]

作者: hustlotus 时间: 2009-7-17 15:07
标题: 请教高手振镜失真问题
1、用f-theta透镜进行后聚焦，振镜扫描所产生的枕形失真和鼓形失真分别是什么引起的呢？是振镜还是f-theta透镜呢？
2、如果我不用f-theta透镜聚焦，采用前聚焦，那直接由x、y坐标回溯计算振镜偏转角度，按理说是不会有失真的吧，请问这种情况下会不会产生失真？
望达人指点,谢谢了！

作者: hustlotus 时间: 2009-7-20 08:23
顶起啊！................

作者: realpro 时间: 2009-7-20 12:14
透镜，真的比较复杂啊。。。。。

作者: xigema 时间: 2009-7-20 12:46
失真都是由于振镜引起的啊。。

如果用回溯的方法理论上是不会产生失真的。。
但是我所在的公司软件组告诉我如果这样由于电机原因的误差。。仍会造成问题。。
最后他们采用的是扫描+校正的方法处理

作者: hustlotus 时间: 2009-7-21 09:47
那我看的一些文献说，当x振镜变化，y振镜不变时，仅x轴发生变化；而当x振镜不变，y振镜变化时，x轴，y轴都发生变化。这就是枕形失真的原因。
那我也觉得这很没有道理，因为我们可以同时偏转xy振镜。
枕形失真和鼓形失真都是因为振镜电机所引起的吗？
就是说如果只有振镜，没有f-theta透镜，也会有枕形失真和鼓形失真？
这下麻烦了。。。要校正。。。。。

作者: dieser 时间: 2009-7-21 10:19

失真都是由于振镜引起的啊。。

如果用回溯的方法理论上是不会产生失真的。。
但是我所在的公司软件组告诉我如果这样由于电机原因的误差。。仍会造成问题。。
最后他们采用的是扫描+校正的方法处理
xigema 发表于 2009-7-20 12:46

赞一个~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

作者: hustlotus 时间: 2009-7-21 12:37
校正啊，又要校正。。。。

作者: xigema 时间: 2009-7-21 13:50
前聚焦
从X镜出来的光单位向量为(sin2wx,cos2wy,0)
将和Y镜相交与（D*tan2Wx，0,e）
当Wy=0，Y镜出射光线向量可以表示为(sin2wx,0,-cos2wy)
从而当Y镜偏转Wy时，出射光线向量为(sin2Wx,cos2Wx*sin2Wy,-cos2Wy*cos2Wy)
出射光线必然经过点(D*TAN2wx,0,e)且向量已知
有方程:
X=d*tan2Wx+sin2wx*t
Y=cos2wx*sin2wy*t
Z=e-cos2wx*cos2wy*t

令Z=0 解方程得聚焦面上坐标
X=D*tan2WX+E*TAN2WX/COS2WY
Y=E*TAN2WY

求逆
Wx=0.5*arctan（X/（d+sqrt(e^2+y^2)））
Wy=0.5*arctan(Y/e)

以上为根据参考文献
1.基于双振镜扫描的三维激光加工系统自动化与仪器仪表 2006.1
2.双振镜二维扫描系统的误差分析和校正技术应用激光 2001.1
整理。

本人QQ 19960786 也是hust的欢迎楼主相互交流

作者: hustlotus 时间: 2009-7-21 14:11
楼上的公式很正确，如果由x、y坐标回溯计算振镜偏转角度，应该是不会有失真的吧。
如果有失真，那是由什么引起的呢，是因为振镜电机的误差吗？
纠结中。。。。。

作者: brisker 时间: 2009-7-27 17:25
枕型失真是振镜引起的，这个非常容易算出来，鼓型失真有f-theta引起的，最终的失真是两者的叠加，失真最严重的地方是边沿，需要用9点校正法，校正才能工作。你可以下载http://www.raylase.com/cn/downloads.php 两轴激光光束偏转单元 - 手册 RLA, SS, TS两轴振镜使用手册参考，上面也关于失真的简单说明，也许对你有用。

作者: dieser 时间: 2009-8-1 17:47

枕型失真是振镜引起的，这个非常容易算出来，鼓型失真有f-theta引起的，最终的失真是两者的叠加，失真最严重的地方是边沿，需要用9点校正法，校正才能工作。你可以下载http://www.raylase.com/cn/downloads.php 两轴 ...
brisker 发表于 2009-7-27 17:25

赞一个！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

作者: xwy8243 时间: 2009-9-28 16:02
振镜校正!!!!!!!!!!!!!!!!

作者: calvino 时间: 2009-9-28 19:33
向各位DX学习了！！！！！！！！

作者: tianhaotech 时间: 2009-10-11 23:31
欢迎大家继续讨论！整个下来要多少钱呢？含软件和硬件！

作者: pei886 时间: 2010-1-11 14:07
一般新振镜都要调失真的

作者: or2008 时间: 2010-1-14 11:24
振镜的原因，零点没对正，XY电机没有校正

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)