光电工程师社区

标题: 膜层老是脏，咋个回事呢 [打印本页]

作者: jixiaoming 时间: 2009-7-31 14:33
标题: 膜层老是脏，咋个回事呢
最近镀二氧化硅都脏，咋回事

作者: zzzz 时间: 2009-7-31 15:21
脏
卫生没做好???????????????????

作者: 85667542 时间: 2009-7-31 17:08
机器密封方面不好了估计

作者: 山村野夫 时间: 2009-7-31 19:34
到底是膜上层还是膜下层，要具体问题具体分析

作者: 山村野夫 时间: 2009-7-31 19:36
是膜上尘还是膜下尘？

作者: 候鸟 时间: 2009-8-1 23:33
基片没清洗干净，真空室有异物，偶以前也遇到过这种现象。

作者: longmin 时间: 2009-8-2 10:20
如果膜上就可能艙體髒洩氣時造成的
如果膜下就可能鏡片清潔不足或是霉

作者: 574805783 时间: 2009-8-8 22:28
不知道

作者: gxbm 时间: 2009-8-9 10:14
注意坩埚周围。。

作者: jiayuch 时间: 2009-8-9 10:16
用的什么设备？做得什么产品？什么膜系？

作者: jiayuch 时间: 2009-8-9 10:23
用的什么设备？做得什么产品？什么膜系？

作者: jixiaoming 时间: 2009-8-10 09:55
哦，是膜层掉了，留一个小块，就没有膜
是基板脏了么

作者: wsminmin 时间: 2009-8-10 15:45
我觉得六楼和九楼说的在理

作者: sunyan 时间: 2009-8-10 21:42
真空室太脏了吧！！！！！！！！！！！！！

作者: lgciom 时间: 2009-8-12 20:35
看口音象是云南人......

作者: zzzz 时间: 2009-8-13 12:55
局部掉膜可能是基板问题............

作者: jixiaoming 时间: 2009-8-14 11:25
就是小圆点
有时候，是脱模

作者: zzzz 时间: 2009-8-14 16:55
针眼???????????????????????????????????

作者: lao7_tao 时间: 2009-8-16 13:43
扩散泵返油吗？
圆点，另外还整片脱膜

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