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标题: 求助南光机脱膜 [打印本页]

作者: HGcoating 时间: 2009-9-8 14:09
标题: 求助南光机脱膜
一个刚来镀膜新人无意中把镀膜机冷水关掉了，设备加温和高阀都在开起状态，差不多停水一个小时左右，后来真空室全部清洗了一次，包括高阀地方全都清洗过，但还是脱膜，唯一扩散泵没洗油没换，说明的一点真空能抽上去，也没漏气现象。哪位能指点下是什么原来。（有离子源，以前从没过脱膜现像）

作者: HGcoating 时间: 2009-9-8 14:11
基片为半导体材料无需清洗，以前也从不清洗也不脱膜

作者: HGcoating 时间: 2009-9-8 15:12
没人能回答我的话题

作者: fql3310 时间: 2009-9-8 16:17
发生这种事,还是把扩散泵洗洗吧,真空室也要再重新清洗了.

作者: sunyan 时间: 2009-9-8 19:25
楼上说的对，根据你的描述感觉还是有油蒸汽，所以建议清洗。

作者: zzzz 时间: 2009-9-9 08:36
洗的够彻底吗???????????????????????????

作者: gb936 时间: 2009-9-10 00:27
清洗不彻底

作者: zhaohn868 时间: 2009-9-10 08:36
把油换一下就可以了！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！11111

作者: HGcoating 时间: 2009-9-10 10:33
真空室和高阀地方绝对清干净，如果是扩散泵油问题，难道油烧坏了，烧一个小时时间但没有氧气进入，问题会有多严重？？？油是耐高温的啊。油变质了吗？

作者: HGcoating 时间: 2009-9-10 10:34
真空室和高阀地方绝对清干净，如果是扩散泵油问题，难道油烧坏了，烧一个小时时间但没有氧气进入，问题会有多严重？？？油是耐高温的啊。油变质了吗？

作者: zzzz 时间: 2009-9-10 11:38
油如果变了的话,那抽速就变了
因此自己再好好想下

作者: jixiaoming 时间: 2009-9-10 15:14
加高温，把真空室的油蒸掉
200多度
会好不少

作者: HGcoating 时间: 2009-9-10 15:57
都用300度间谍烤过了，最近两天做了三罩小批量，目前还没有发现脱膜现象，再做几批看看情况.............

作者: gxbm 时间: 2009-9-12 12:31
扩散泵没有废掉真是够幸运的！！但油肯定不好了。

作者: jingxiaobao 时间: 2009-9-13 21:16
同意14楼的说法，
但是我觉得奇怪的是如果冷却水断了，机器应该报警的，就算是最古老的机器都应该有这个功能吧，镀膜机设计时这是很关键的。你还是把里边全部清洗干净吧，遇到这种事你只有清洗，而且是里边所有的部件都要喷砂，清洗，然后再用机器加热300度，烤它个3个小时，之后再看结果。
慢慢做吧！

作者: HGcoating 时间: 2009-9-18 10:57
楼上的说对了，这台南光设备都10多年了，有些功能确实不太好。不过做工艺就是要把事情解决。关键是现在要解决问题呀

作者: fql3310 时间: 2009-9-18 13:08
都说得很好,扩散泵油一定要换,这是程序的问题.真空室也要重新清洁.
这些都是发生这种问题必须要做的事情.操作程序都是这样子的.

作者: jingxiaobao 时间: 2009-9-21 21:31
如果你的问题还没有解决的话，就麻烦点把能够拆的部件都拆掉，全部使用喷砂机喷砂后再加热使用吧。问题点应该是还真空时不干净的缘故咯。有些问题很微观的，只有按部就班的一个一个的做，应该会得到解决的。试试吧！

作者: HGcoating 时间: 2009-9-22 10:20
奇怪的是最近每批都有5%到10%之间这个比率在脱膜，我用的是AL2O3一层膜咧。真有点不敢相信是脱膜。

作者: HGcoating 时间: 2009-9-22 10:22
哦，说明下第批有200只左右，脱膜的只有5%－10%左右。我是很不能理解的。大家对这个问题有什么想法

作者: zzzz 时间: 2009-9-22 10:31
脱膜的情况如何????????????/

作者: JZNT 时间: 2009-9-22 14:20
扩散泵清洗，最好换油。真空室要彻底打扫干净。

作者: marcsle 时间: 2009-9-24 01:40
换油，再清洗，尤其是冷阱冷凝管周围好好清洗一下！

作者: HGcoating 时间: 2009-9-27 10:06
最近一周生产情况来看，大批量做了6罩，没有发现脱膜情况，只是人个感觉膜层没有以前紧密，比较松软。或者这是否跟扩散泵油有关。大家有什么高见之处

作者: jixiaoming 时间: 2009-9-27 16:39
差不多就是油坏了吧

你们雇佣的啥人啊，不懂别瞎弄

作者: lkwxp 时间: 2009-10-5 16:59
把镀膜机冷水关掉了，设备加温和高阀都在开起状态，差不多停水一个小时左右，竟然水冷没报警，你们的机器够沉住气的。像这这种情况，机器要反油的。那要做彻底的打扫。

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-9-6 21:16
学到了很多啊，最近也遇到了部分脱模情况

作者: Jimmy_tang 时间: 2011-9-8 10:17
脱膜的话，肯定是镀膜时表面先附着上了其它物质，且这种物质在真空情况下会挥发出来。这样说的话，的确是只有油出来了。
顺带说一句，油不行了，未必抽真空就马上不行了。但抽真空的速度有可能会变慢，如果没注意未必会发现的。

作者: 阿俊 时间: 2011-9-30 14:10
我现在也正遇脱膜，头都搞大了，学习了

作者: PY13088802019 时间: 2015-8-12 16:56

作者: wlinliu 时间: 2015-10-23 19:17
首先看一下真空度是不是有较大的跳动，如果反弹或跳动比较大，很有可能是炉膛没有清洁干净，或许残留油污藏在了夹缝中，酒精如果清洁不干净油污，用丙酮试试看效果。

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