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标题: 0..005孔径加工 [打印本页]

作者: chenglilee 时间: 2009-9-14 14:32
标题: 0..005孔径加工
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镀膜玻璃0.8mm,需加工0..005mm 请问哪种工艺能达到要求?

作者: chenglilee 时间: 2009-9-14 14:34
0.005为圆孔, ***************

作者: zzzz 时间: 2009-9-15 15:22
5nm
这个不知道加工光纤芯的工艺能否实现

作者: ds1234567 时间: 2009-9-29 07:48
光刻复制，母板要好。

作者: zzzz 时间: 2009-9-29 08:29
光刻适合于玻璃吗
而且不知道玻璃厚度多少

作者: zzzz 时间: 2009-9-29 08:30
如能调出5NM的激光可以试打下

作者: ds1234567 时间: 2009-10-3 15:26
只有光刻才能在铬膜上制造这个星点板，过去是水煮然后挑选，其余的涂盖掉，你到238厂可以购买现成的。

作者: gb936 时间: 2009-10-5 09:54
楼主表述的是：在0.8mm厚的镀膜玻璃片上加工φ0.005mm的孔(⊙_⊙)？若是，玻璃片尺寸？孔的数量？

作者: ds1234567 时间: 2009-10-6 07:28
准LIGA技术

UV-LIGA 工艺
负责人：徐智谋；课题组人员：一名博士和一名硕士；课题起止年限为：2002 年 9 月至2003 年 12 月。
资金来源：863计划
近来，对于MEMS领域，高深宽比的微结构（HARMS）越来越由于传感和制动装置的需要而受到重视。HARMS 相对应于传统的MEMS器件有很多的优点，比如提高结构的紧凑性，低的电压驱动，在传感器中有比较高的灵敏度等等。传统的制造HARMS的技术中有LIGA，准LIGA和深层反应离子刻蚀（DRIE）。LIGA是众所周知能够制造深宽比达100：1而且高度能够达到几个毫米的微制造技术，但是极其昂贵的设备制约了它的广泛应用。而现在人们找到一种低成本的制造HARMS的工艺技术------准LIGA技术。这种技术制造的HARMS深宽比没有LIGA技术大，但是也可以达到最多几百个微米的高度和几十的深宽比，然而它所需的成本只有LIGA技术的几百分之一。因而准LIGA技术将是影响下个世纪微机械加工的一项重要技术。本课题致力于研发标准的SU8-PDMS 准LIGA微机械工艺流程以及与CCD或单片机集成的工艺。本项目将采用SU8光刻胶作为微机械制造过程中微结构形成的关键材料。在SU8微结构形成后，再用PDMS作为浇铸材料来形成反模。用脱模后的PDMS作为电镀基体进而作出所需的金属模子。为将来大规模用热压/注塑方法来生产MEMS装置提供低成本、高精度的模具生产工艺。

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