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标题: 全反射镀膜 [打印本页]

作者: lengyun315 时间: 2009-10-8 16:12
标题: 全反射镀膜
全反射镀膜
波长193nm单波长紫外激光要求反射>90% 镀在镜片上面直径大约4cm
镀什么膜号呢？
请教谢谢！

作者: zzzz 时间: 2009-10-9 08:18
弄些F化物试试看.................

作者: qjy 时间: 2009-10-9 09:25
单纯的一种氟化物材料就能镀出反射>90%的高反膜?神仙吗?

作者: zzzz 时间: 2009-10-9 12:47
一种不行就两种了..............

作者: lengyun315 时间: 2009-10-10 09:46
请教加什么镀可以我看到说镀银可以，
我们这经常镀铝镀烙但是激光都不可以

作者: qjy 时间: 2009-10-10 11:02
那是哪个高手告诉你镀银可以的?不要说到193nm,400nm银都不行了,不信你就让那高手给你镀个看看!你这要求只能镀多层介质膜,氟化物是要用的,但氟化物的折射率都很低所以很难只用氟化物做出来,还要找别的折射率高一些的材料

作者: lengyun315 时间: 2009-10-10 16:10
呵呵楼上大哥你那能镀吗要是请你加工费用能多少
直径在4CM的镜片

作者: zhaozhipengwl 时间: 2009-10-11 20:53
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作者: marcsle 时间: 2009-10-12 19:47
镀制波长短至193紫外的多层膜，氧化铪HFO2、氧化铝AL2O3、氧化硅SIO2、氟化物是最重要的材料！
建议楼主可以采用SIO2/HFO2或是LAF3/MGF2材料组合的膜层!

作者: qjy 时间: 2009-10-13 11:49
呵呵！楼上的高手能用SIO2/HFO2做193nm的高反膜？一定是神人吧！

作者: 北方孤鹰 时间: 2009-10-13 20:22
论坛里有这方面的资料你找找看给你转发一个希望对你有帮助
193nm多数材料吸收都很大对工艺要求高自己试吧祝你成功！

6特性对193 nm HfO2SiO2Y2O3SiO2Al2O3SiO2多层膜反射特性的影响.pdf

219.33 KB, 下载次数: 39, 下载积分: 光电贝 -10 元

作者: kelvin874874 时间: 2013-4-2 08:36
F化物吧還要考慮材料吸不吸收

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