光电工程师社区

标题: 默克M3 谁用过，抓7Q折射率分区不均匀 [打印本页]

作者: ghtzna 时间: 2009-11-10 07:44
标题: 默克M3 谁用过，抓7Q折射率分区不均匀
最近抓M3 参数，折射率各个区域不一样，是不是离子源气体参数所致，而且高温烘烤后会有脱膜
要不要放氧

作者: zzzz 时间: 2009-11-10 12:46
怎么说各个区域不一样??????????????????

作者: ghtzna 时间: 2009-11-10 21:47
回复 2# zzzz

O ,伞架上下区不一样，从上到下分布不均？是离子源的角度所致么

作者: zzzz 时间: 2009-11-11 08:30
如果不用离子源呢?
如果均匀则说明是离子发射角需要调整

作者: ghtzna 时间: 2009-11-11 18:37
回复 4# zzzz

是不是离子源参数的问题，正在调试，他的折射率在1。75附近么

作者: zzzz 时间: 2009-11-12 13:24
550nm 1.8
离子源参数肯定会影响到均匀性了

作者: ghtzna 时间: 2009-11-12 20:38
我抓出来600nm，1.75

要不要放氧啊
这个离子源参数beam 电流和电压要设定多少呢900，1200行么

作者: zzzz 时间: 2009-11-13 10:07
不同的工艺条件会导致不同的NK
不知道你是啥离子源,具体参数还是得自己摸

作者: ghtzna 时间: 2009-11-13 23:52
回复 8# zzzz

光驰的
现在生管也不给时间试了，不过感觉不太好用，容易打深，您用过吧

作者: ycxmy 时间: 2009-11-15 01:44
这膜料不应该打坑啊，
M3特性比较稳定，
就是价格太高了。

作者: zzzz 时间: 2009-11-16 08:56
OPTORUN的啥源/RF?
M3是混合物,蒸的不好可能一致性会有问题

作者: ghtzna 时间: 2009-11-16 18:49
回复 11# zzzz

RF 不知该怎么搞了

作者: zzzz 时间: 2009-11-17 12:56
OPTORUN的RF源号称不错
暂时还没使用过
但NK不一致应该是源的一致性有待优化

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)