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标题: 高性能用于等离子体刻蚀机的射频电源及匹配系统 [打印本页]

作者: RFresearch 时间: 2009-11-23 23:46
标题: 高性能用于等离子体刻蚀机的射频电源及匹配系统
我司提供二手AE,MKS/ENI射频电源和匹配器，AE的具体型号有RFG系列13.56MHz，1.5KW,3KW和5.5KW;CESAR系列，频率有13.56MHz，27.12MHz和40.68MHz，功率从600W到5KW;VHF2760 60MHz 2700W以及AZX和VM系列自动匹配器，频率从2MHz到40.68MHz，功率可达10KW。MKS/ENI的具体型号有GHW系列13.56MHz，1250W,2500W和5000W;GEW2527, 27.12 MHz, 2.5kW ;GEW3040, 40.68 MHz, 3.0kW；Spectrum? B5002, 2MHz, 5.0kW;MW系列13.56MHz自动匹配器，功率从600W到3，5KW。同时也提供AE,MKS/ENI的DC和中频电源。上述电源功能正常，性能稳定，提供保修和维修服务。如有需要敬请联系甄先生，13684909805或0755-26439972。Email:zhenzd@gmail.COM

作者: RFresearch 时间: 2009-11-23 23:47
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