光电工程师社区

标题: 有关激光镀膜的设备需求 [打印本页]

作者: njboyiton 时间: 2009-12-29 13:33
标题: 有关激光镀膜的设备需求
虽然是新手，但俺还是不想浪费热河一次发帖的机会，特此发一个比较详细的《激光镀膜腔》的设备采购技术要求，欢迎有兴趣的朋友来提供好的供应商或厂家给我哦，因为资金有限，希望大家给我报价的时候悠着点啊，嘿嘿

激光镀膜生长腔采购
  四、技术指标一览表
（一）、系统的主要组成及技术指标
极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；
激光入射口到地面的距离为1200mm；
系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成；
1 、溅射真空室组件                                           1套
球型真空室尺寸Ф450mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 、RF200法兰接口：1个（接靶组件）；
1.2 、RF150法兰接口：2个（接基片样品台组件、活开门组件）；
1.3 、RF100法兰接口：4个（激光入射窗口2个、红外测温窗口、观察窗口）；
1.4 、RF10法兰接口：3个（1路进气管路、1个充气阀、备用）；
1.5 、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.6 、CF50法兰接口：1个（备用）；
1.7 、CF35法兰接口：3个(接高真空电离规管、照明、备用)；
1.8 、CF16法兰接口：2个（高压放电电极、备用）；
1.9 、KF40法兰接口：2个(接2路旁抽)；
1.10 、ZC16法兰接口：1个(接低真空电阻规管)；
2 、旋转靶台组件                                           1套
2.1 、每次可以装四块靶材，靶材尺寸：（i）Φ60mm和（ii）Φ25mm；
2.2 、每块靶材可实现自转，转速5～60转/分，连续可调，由步进电机驱动磁力耦合机构控制；
2.3 、靶位公转换位机构，由步进电机驱动磁耦合机构控制；
2.4 、靶材屏蔽罩将4块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染；
3 、抗氧化基片加热台组件                                  1套
3.1 、基片尺寸：可放置2″基片；
3.2 、基片加热最高温度 800°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化材料作加热器；
3.3 、基片可连续回转，转速5～60转/分，步进电机驱动磁耦合机构控制；
3.4 、基片与靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制；
3.5 、手动控制样品挡板组件：1套；
3.6 、样品托：2个；
4 、窗口及法兰接口部件                                     1套
4.1、RF150带窗活开门：1套（其上有铰链、锁紧件、RF100观察窗）；
4.2、RF100石英玻璃窗口：2块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）；
4.3、RF100红外石英玻璃窗口：1块（透过红外波段JGS3石英玻璃，供红外测温使用）；
4.4、RF100光学玻璃窗口：1块；
4.5、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）；
4.6、RF10、CF16、CF35、CF50盲法兰：各1个；
4.7、CF16单芯陶瓷封接引线法兰：1个（高压放电电极）；
4.8、室内进气法兰RF接管D6：1套（其上有RF10双面法兰、铜管、D6卡套、瓷管等）
5 、激光束扫描控制系统                                     1套
二维扫描机械平台，两套步进电机控制，也可手动控制；
6 、工作气路                                              2路
6.1 、100SCCM质量流量控制器、充气阀RF16、管路、接头等：1路（汇博隆）
6.2 、充气阀RF16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）；
7 、抽气机组及阀门、管道                                  1套
7.1 、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速600升/秒，北京）；
7.2 、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，上海）；
7.3 、KF40电磁压差阀：1台（上海）；
7.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套；
7.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀KF40：1套；
7.6 、分子泵与真空室之间的旁抽管路及角阀KF40：1套；
7.7 、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；
8 、安装机台架组件                                        1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；
9 、真空测量及电控系统                                     1套
9.1 、电源机柜：1台；
9.2 、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁截止阀、真空计等提供电源，有断电断水保护功能）；
9.3 、产生氧等离子体的电离电源：1套；
9.4 、样品加热控温电源：1套（采用日本产控温表，可实现程序控温）；
9.5 、步进电机旋转电源：3套；
9.6 、加热烘烤及照明电源：1套；
9.7 、宽量程数显真空计（成都）：1套；
  电阻规：1套（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）；
      电离规：1套（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）；
9.8 、100SCCM质量流量显示器：1套；
9.9 、激光扫描电源：1套；
9.10 、分子泵控制电源：1套；
10 、备件                                                 1套
10.1 、无氧铜密封垫圈及管路
CF16：3个；CF35：5个；CF50：1个；CF150：2个；
￠6mm卡套：4套；￠6mm不锈钢管：6米；
10.2 、氟橡胶密封圈：￠200mm：1个；￠150mm：1个；￠100mm：4个；
10.3 、烘烤带：3条；
10.4 、碘钨灯：5个；
10.5 、样品加热丝：1套；
10.6 、￠100mm光学玻璃：1块；
10.7 、小型不锈钢标件M3、M4：各3个；
11 、计算机控制系统                                        1套
由硬件卡、软件组成；
控制的内容主要有公转换靶、靶自转、样品自转、样品控温、激光束扫描等；
（二）、技术服务及质量保证
1 、按ISO9001质量管理体系组织设计、加工、装调、检验、包装、运输；
2 、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；
3 、在甲方现场验收后，一年内免费维修正常使用出现的故障，非常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费；
（三）、现场安装具备的条件
1 、电源380V 50Hz 功率大于10KW，波动范围：小于±6％，配置多路接线插座；
2 、可靠地线，对地电阻小于2Ω；
3 、具有民用自来水或循环冷却水，水温小于25℃，水压小于2.5×105Pa，流量要求达到12升/分钟，及回水通道；
4 、安装场地面积大于15M2,高度要求高于2.4M；
5 、要求安装场地的标准温度为20℃～24℃，标准相对湿度为50%～60%；
6 、要求有普通氮气，压强要在2～3个大气压之间；
7 、外排废气管道；
（四）、培训
1、培训时间：2～3天
培训人数：2～3人
2、培训内容及要求：
1）、了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法
2）熟练掌握整套系统的操作规程
3）能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换
4）对设备能够进行日常的维护和保养。
（五）、相关的技术资料
1、设备操作、维护使用说明书（1套）
2、各类外购件使用说明书：
3、设备出厂合格检验证明（1套）
4、装箱单（1套）
（六）、设备保修
甲方设备验收合格后，乙方负责保修一年。

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)