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标题: 请教：投影光刻物镜的实际分辨率所对应的MTF是多少？ [打印本页]

作者: blackdarck 时间: 2003-9-8 17:24
标题: 请教：投影光刻物镜的实际分辨率所对应的MTF是多少？

用不同接收器接收时能达到的对比度阀值相对应的分辨率为实际分辨率，据清华大学王民强教授的经验，他认为与接收器对比度阀值相对应目视系统MTF1≥0.05,电视摄录、照相摄影系统MTF2≥0.15。
请教：投影光刻物镜或精缩投影物镜（将物体缩小5倍或10倍成像在光刻胶版上）的实际分辨率所对应的MTF应当是多少，很急需知道，需要对所设计的系统的实际分辨率给予及时的评价！

作者: blackdarck 时间: 2003-9-8 20:00
标题: 请教：投影光刻物镜的实际分辨率所对应的MTF是多少？

各位知道的高手可别保守啊，这是投影光刻物镜设计不能不考虑的一个问题！

作者: blackdarck 时间: 2003-9-9 17:04
标题: 请教：投影光刻物镜的实际分辨率所对应的MTF是多少？

等了一个晚上还无答案！

作者: cosinezheng 时间: 2003-9-10 17:47
标题: 请教：投影光刻物镜的实际分辨率所对应的MTF是多少？

你可以看看SPIE上的光刻机专辑,每年都有.如果没有记错的话,应该是60%.

作者: blackdarck 时间: 2003-9-13 17:15
标题: 请教：投影光刻物镜的实际分辨率所对应的MTF是多少？

谢谢这位仁兄！

作者: opti-man 时间: 2004-3-26 22:48

The best is over 0.6@50lp/mm

good luck!

作者: guanchuchu 时间: 2008-4-10 20:40
感谢楼上，我就需要这个数据。

作者: nokia8558 时间: 2009-2-24 16:19
有没有理论依据呀？我现在也遇到这个问题。nokia8558@163.com

作者: lwj03005 时间: 2009-2-25 11:58
找我呀，我专门搞这个的。我的博客里有一个这样的设计：http://blog.sina.com.cn/opticaldesign

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