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标题: 镀膜时,样品表面不与夹具平行会是什么样子?谢谢。 [打印本页]

作者: stonetiny    时间: 2010-2-22 21:43
标题: 镀膜时,样品表面不与夹具平行会是什么样子?谢谢。
目前在镀膜工艺中,遇到一个情况,即:双离子束溅射时,样品表面为倾斜的(不与行星盘平行),镀1064nm增透,这样会是什么样子,有人遇到过吗?谢谢,请多多指教。




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