| 最近也遇到这种问题,请老大们指教。。 |
| 沉积速度会直接影响折射率的,南瓜没用离子源,试试改变真空度、EB电流罗 |
学习,膜![]() ![]() |
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| 补正板是什么东西啊,怎么还有折射率? |
| 呵呵,我们也是这个问题 |
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1.使用金属的温度计,真空压力 时间稳定,看下实际的分布温度状态进行校正 2.a膜厚分布可先不加修正板进行单层蒸镀测量各测试片的分光曲线,b再任意加块对称的修正板在蒸镀次 根据各相对应点位置曲线进行对比,(点对位置是指测试片同修正板的相对应点)c再根据修正板各 点位置对称宽度变化,来调正膜厚分布。 |
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