还是工艺上的问题 |
| 是啊,不是自己镀的,怎么找原因啊 |
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1、镀氟化镁,基底温度应在250~300度,且镀膜时真空度要高; 2、sio2镀膜出现脱模,与加工工艺条件关系较大。 |
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镀膜其实是一种气相沉积。 镀膜时并不存在SIO2分子, 而是SI离子和O离子的形式蒸发上去的, 因为电场作用,难免会发生一些沉积不均匀的情况——— 有的地方SI多一些,有的地方O多一些 (多余的O变成气体跑掉了,所以不会带来问题,但SI过多颜色会发黑) 用O2做气源,用离子辅助镀膜,就是避免发生SI过多的情况, 离子源的另一个好处是膜更致密。 离子源有两个指标,阳极电流和阳极电压, 电流和离子密度成正比,电压和离子速度成正比。 |
| 哈哈,楼上最经典,退货.膜裂一般都是吸潮后出现的状态,用离子源镀的基本没这个问题,当然也要看你用的什么离子源还有功率的问题,SIO2冲氧不够也有这个问题,MGF2的基底温度不够也会造成膜硬度不够. |
| ps:先谢过各位了,给了很多好的建议和改善方法~~先歇个周末再说,哈哈,周末愉快~ |
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用离子源会好些。 一个是膜层更致密,另外一个颜色更透明。 镀SIO2的时候,是离子形式沉积的,会发生一些不均匀的情况, 这时候补些氧会有好处。 |
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