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求助AR光谱镀膜改进

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cai004

发布时间: 2014-5-28 13:27

正文摘要:

本帖最后由 cai004 于 2014-6-3 15:14 编辑红色的是客户给的样品另一条是我做的是2层AR TIO2+SIO2 如何让光谱左移是不是要增加TIO2的厚度？尽量和客户一致谢谢大家我弄好 ...

吉喵 发表于 2014-8-9 18:26:06

学习学习

踏歌前行 发表于 2014-5-31 14:01:35

踏歌前行发表于 2014-5-31 13:59
这样的膜系是单点AR膜,不是很难做的.

为什么不换成H4做,透过率更高.

踏歌前行 发表于 2014-5-31 13:59:36

zouyou828459 发表于 2014-5-30 23:26
[quote]zouyou828459 发表于 2014-5-28 21:29
此位大侠说的有道理，我这次是没仔细看清楚那个曲线，就向楼 ...

这样的膜系是单点AR膜,不是很难做的.

zouyou828459 发表于 2014-5-30 23:26:17

本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-30 23:47 编辑

[quote]zouyou828459 发表于 2014-5-28 21:29
此位大侠说的有道理，我这次是没仔细看清楚那个曲线，就向楼主发“飚”了，向楼主致歉，希望楼主做好个产品，我给您添乱了。

宇宙深处 发表于 2014-5-30 14:55:52

从光谱来看确实比较简单的一个膜，1.52/2HL/1.0 的结构就可以达成。（H:TI3O5 ,L:SIO2）只楼主提到没有膜厚监控设备。其实膜厚监控最原始的设备就是人眼，从视窗观察基材的颜色变化就能比较准确判断膜厚。当然控制时间也是一种方法，只是它与蒸发速率、真空度有很大的关系，不容易控制的很准确。

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qjy

1.52/2HL/1.0 的膜系能够做成楼主要求的目标曲线？头次听说，又长见识了！发表于 2014-5-30 23:11

李昌瑞 发表于 2014-5-30 13:44:57

围观一下，没做过CVD

rollo_tomasi 发表于 2014-5-29 15:57:24

那就只能靠时间控制了

HGcoating 发表于 2014-5-29 15:55:51

1、稳定功率后TIO2溅射20分钟，SIO2溅射10分钟，测量厚度　计算折射率，计算时间平均每秒多少厚度　。
2、设计膜系，计算每层厚度需要时间

tfc 发表于 2014-5-29 15:26:15

按时间，每次变化5%时间

cai004 发表于 2014-5-29 08:59:23

因为是用磁控溅射做AR 没有晶控没有光控
膜厚未知的情况下做
基底是PMMA
所以个人感觉比蒸发难很多

cai004 发表于 2014-5-29 08:59:19

因为是用磁控溅射做AR 没有晶控没有光控
膜厚未知的情况下做
基底是PMMA
所以个人感觉比蒸发难很多

tfc 发表于 2014-5-29 08:57:13

红色弯曲厉害，你自己的比较平滑，说明H太少，L太多。

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