| 这是一篇技术帖啊! |
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谢谢分享。//我听s工说起,才想起来,原来我们还真认识,呵呵。 是的,超总厚度时换坩埚是坩埚数量不够多时用的策略之一。难以避免的是,一个坩埚,总厚度会有时多一点,有时少一点。 正如您与 xiaohuilee 所言,有时还是需要人来参与的。 例如,单层超厚分成两层来,这样的问题,还是由工艺人员来做吧。 如rollo_tomasi所说,坩埚够多时,镀一层换一个或更优先,会省很多事。 三种策略同时提供,用户可以自己根据情况来选择,不满意时仍可以人工来修改。 用户甚至无需转换软件,直接修改所谓的膜系文件,因为文件是ASCII码,可以用记事本打开的,只要按照里面约定的格式来填写。 |
| 我觉得就用你的第3种策略,只是需要工艺人员在膜系软件里将超过总厚度的膜层分解成两层,这样对镀膜成果影响可以忽略不计的,因为我经常这样做的,张总你看这样行吗? |
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谢谢。 如每层用一个,循环使用。前面说的 策略 2 就是的。 到底是循环用每个坩埚,还是一个坩埚用几层或累积一定厚度换下一坩埚,工艺人员可说说各自理由吗? |
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