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微纳技术
体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究
李勇 李玉和 李庆祥等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(1)
用亚稳态氩原子束制作纳米结构
陈献忠 高洪涛 姚汉民等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(6)
微型机器人用于检查管道内的缺陷
孙麟治 陆林海 秦新捷等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(11)
纳米级位移分辨率双光栅系统的多普勒分析
苏绍璟 刘辉 吕海宝等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(17)
基于辐射压力控制的微型元件的加工与检测
Yasuhiro TAKAYA,Satoru TAKAHASHI,Takashi MIYOSHI
〈篇首内容〉 PDF全文 -------(22)
微机电系统(MEMS)的仿真和模型分析
潘武 钟先信 刘积学 〈文摘〉 PDF全文 ---------(30)
微机电系统测试技术及方法
李智 王向军 〈文摘〉 PDF全文 ---------(37)
微型振动式发电机振子系统的理论计算及仿真
温中泉 温志渝 陈光焱等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(45)
光学设计
X射线超反射镜设计
张众 王占山 王风丽等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(49)
宽覆盖、离轴空间相机光学系统的设计
常军 翁志成 姜会林等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(55)
材料科学与技术
用微波方法测量导电薄膜
Y JU,Y HURISAWA,M SAKA 〈篇首内容〉 PDF全文 ------(59)
Mo/Si多层膜残余应力的研究
向鹏 金春水 〈文摘〉 PDF全文 ---------(62)
光电技术与器件
光脉冲在半导体光放大器中传输的计算机模拟
李均 黄德修 孙军强等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(68)
先进制造技术
非球面曲面光学零件超精密加工装备与技术
罗松保 张建明 〈文摘〉 PDF全文 ---------(75)
数控抛光加工应用于波前畸变校正
王健 陈贤华 李洁等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(79)
现代光学仪器与精密机械
航空光电侦察平台关键技术及其发展
贾平 张葆 〈文摘〉 PDF全文 ---------(82)
弹性铰链研究
辛洪兵 郑伟智 赵罘 〈文摘〉 PDF全文 ---------(89)
伺服系统两种低速非线性补偿方法的对比实验
陈涛 陈娟 蒋风华 〈文摘〉 PDF全文 ---------(94)
测试技术及设备
适合于微细加工的外差探测技术及应用
赵慧洁 〈文摘〉 PDF全文 ---------(98)
一种新型光学编码器
罗长洲 陈良益 孙岩等 〈文摘〉 PDF全文 ---------(104)
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