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关于ZERNIKE系数我想是你输入的不对.仔细检查一下或看一下帮助. 辅助装校的模块是ALI. 只要输入干涉仪得到的INT文件. 指定CMP(补偿)的量. 然后就可以运行ALI了. 例子: !模拟出一系列实际的干涉图形(干涉仪得到的干涉图),文件名为CASS.1.INT,.2.INT...共五个视场 RES CV_LENS:CASSRC
YAN 0 .6 -.6 0 0 ! + and - fields in x and y
XAN 0 0 0 .6 -.6
DAR S2
XDE S2 -0.15
YDE S2 0.1
ADE S2 0.1146 ! +0.002 radians
BDE S2 -0.0573 ! -0.001 radians
TIN S1 .01
PMA; ZRN EXP 36; WIN CASS; GO 这里将原始的设计文件重新导入程式.并指定相应的补偿量. RES ! Restore the original lens and fields
XAN 0 0 0 .6 -.6
YAN 0 .6 -.6 0 0
CMP TIL S2 ! Specify x and y tilt compensation
CMP DEC S2 ! Specify x and y lateral shift comp.
CMP DLT S1 ! Specify z shift of primary comp. 运行ALI功能,得出结果.(装校可以根据此来调). ALI
INT F1 CASS.1
INT F2 CASS.2
INT F3 CASS.3
INT F4 CASS.4
INT F5 CASS
GO 具体的结果就不写出了,它指明了相应的量.(对应于补偿子TIL,DEC,DLT) |