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1、电子枪及电源。 特点是:电子束能量集中,束斑尺寸小,专利水冷技术保证了坩埚的长寿命,专有的扫描模式保证膜材蒸发更均匀,使用率更高,专利电弧抑制技术减少打火发生,独特的结构设计减少不同坩埚内材料的相互污染,并易于清洗。
2、水蒸气超低温冷阱。 用于水蒸气的快速抽除,降温迅速,快速结霜,对水蒸气有强大的抽气能力,使设备抽气时间缩短25%-90%,提高设备极限真空,提高膜层质量,占地面积小,无需液氮,降低运行费用。
3、光学等离子体诊断监控仪。 利用每种物质特有的光谱属性对等离子进行化学诊断。可以对等离子体进行监测和控制,光谱范围:200--1000nm。主要用于:等离子体刻蚀终了诊断,反应溅射镀膜控制,工艺模拟与优化,过程气体纯度控制和检漏,通用等离子体诊断等。
4、光学膜厚控制仪。 利用对基片的透射和反射进行全光谱(范围200-900nm)分析,可对膜厚进行测量和控制。还可用于等离子体诊断。
5、880型沉积速率控制仪。 对真空镀膜的工艺过程进行编辑、监测和控制。基于多微处理设计,具有更快的测量更新率,更高的分辨率;可同时支持8路传感器输入和8路模拟输出;具有更优良的综合性能;前面板有四个可定义快捷键。
公司网址:www.leyfond.com
联系方式:0755-26066939 刘小姐、简先生 |