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小弟遇到一难题,感觉要求颇高:
1. 技术要求(第一类)
(1) 透过率T
波长256.0nm~266.5nm T10-6
波长256.0nm T无要求
波长266.5nm~268.5nm 过渡区,过度区带宽2nm
波长268.5nm~310.0nm T80%
波长310.0nm~312nm 过渡区,过度区带宽2nm
波长312.0nm~1000nm T10-5
(2) 温度漂移: 0.002nm/Deg.c
(3) 工作温度: 23Deg.c
2. 技术要求(第二类)
(1) 透过率T
波长238.0nm~248.5nm T10-6
波长238.0nm T无要求
波长248.5nm~268.5nm 过渡区,过度区带宽20nm
波长268.5nm~310.0nm T80%
波长310.0nm~330nm 过渡区,过度区带宽20nm
波长330.0nm~1000nm T10-5
(2) 温度漂移: 0.002nm/Deg.c
(3) 工作温度: 23Deg.c
我觉得温漂和截止带的深度无法实现,所用材料为紫外材料,不知用什么比较好(氧化锆,氧化硅,氧化铪?),另外该膜系从设计及厚度监控来看也不很容易实现。
不知道各位高手有没什么好的方案?如果也觉得该要求过于严格,那估计放宽哪方面的要求至什么地步,方有把握实现?
请各位不吝赐教,多谢! |