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薄膜分析仪 供应薄膜测量仪器-美国科学计算国际公司(SCI) 供应薄膜测试仪器-美国科学计算国际公司(SCI) 网址:www.sci-soft.com
SCI FilmTek TM Systems(薄膜测量仪器测试功能说明)可测量: Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围 Maximum Spectral Range 最大光谱范围 Standard Spectral Range标准光谱范围 Reflection反射测量 Transmission透射测量 Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量 Power Spectral Density功率谱密度测量 Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量 Both TE TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量 Index of Refraction折射系数测量 Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数 Energy band gap能量带隙测量 Composition成分测量 Crystallinity晶状测量 Inhomogeneous Layers非均匀层测量 Surface Roughness表面粗糙度测量 A variety of options can extend these standard measurement capabilities.
Typical applications典型应用: Flat panel display平板显示器薄膜\OLED有机发光二级管薄膜 Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜\Computer disks计算机磁盘薄膜 Multilayer optical coatings多层光学涂层薄膜\Coated glass有涂层的玻璃薄膜 Optical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜\aser mirrors激光镜薄膜 Electro-optical materials电镀光学材料薄膜\hin Metals薄金属薄膜
Example Films薄膜范例: SiOx氧化硅薄膜\a-Si非晶硅薄膜\Alq3 SiNx氮化硅薄膜\a-C:H氧化类金刚石薄膜\HIL DLC类金刚石薄膜\ITO锡铟氧化物薄膜\BEML SOG 玻璃上系统薄膜\Polysilicon多晶硅薄膜\GEML Photoresist光刻胶薄膜\Polyimide聚酰亚胺薄膜\ETL Thin Metals薄金属薄膜\Color Dye彩色染料薄膜\REML
Example Substrates衬底范例: Silicon 硅衬底 GaAs砷化镓衬底 SOI衬底 Glass玻璃衬底 SOS衬底 Aluminum铝衬底
中电网EMD(半导体设备与材料部) 深圳办 联系人: 邹普红 电话:0755-83342710, zoupuhong@chinaecnet.com |