激光束质量因子M2及其测量 激光束质量因子M2及其测量牛燕雄 汪岳峰 刘 新 张 雏 朱守深 摘要:激光束的质量因子M2是一种全新描述激光束质量的参数,能够定量地表征单模、多模光束的传播特性。描述了M2因子的概念和测量方法,利用面阵CCD探测器研制一套光束质量测量系统,对激光束质量因子M2进行测量,并给出测量结果的不确定度。 关键词:光束质量因子 衍射极限倍数 光束腰宽 光束束宽Laser beam quality factor M2 and its measurementNiu Yanxiong,Wang Yuefeng,Liu Xin,Zhang Chu (College of Ordnance Engineering,Shijiazhuang,050003) Zhu Shoushen (School of Ordnance Engineering,Wuhan,430064) Abstract:The quality factor of a laser beam often is characterized by parameter M2.In our measurement system,we employed a CCD sensor to detect the beam profiles at different location in beam propagation direction,then utilized the data identification to calculate factor M2.This paper give out the measurement results and tolerance limits. Key words:beam quality factor times-diffraction-limited beam waist beam width 引 言 摘要:激光束的质量因子M2是一种全新描述激光束质量的参数,能够定量地表征单模、多模光束的传播特性。描述了M2因子的概念和测量方法,利用面阵CCD探测器研制一套光束质量测量系统,对激光束质量因子M2进行测量,并给出测量结果的不确定度。 关键词:光束质量因子 衍射极限倍数 光束腰宽 光束束宽Laser beam quality factor M2 and its measurementNiu Yanxiong,Wang Yuefeng,Liu Xin,Zhang Chu (College of Ordnance Engineering,Shijiazhuang,050003) Zhu Shoushen (School of Ordnance Engineering,Wuhan,430064) Abstract:The quality factor of a laser beam often is characterized by parameter M2.In our measurement system,we employed a CCD sensor to detect the beam profiles at different location in beam propagation direction,then utilized the data identification to calculate factor M2.This paper give out the measurement results and tolerance limits. Key words:beam quality factor times-diffraction-limited beam waist beam width 引 言 Laser beam quality factor M2 and its measurementNiu Yanxiong,Wang Yuefeng,Liu Xin,Zhang Chu (College of Ordnance Engineering,Shijiazhuang,050003) Zhu Shoushen (School of Ordnance Engineering,Wuhan,430064) Abstract:The quality factor of a laser beam often is characterized by parameter M2.In our measurement system,we employed a CCD sensor to detect the beam profiles at different location in beam propagation direction,then utilized the data identification to calculate factor M2.This paper give out the measurement results and tolerance limits. Key words:beam quality factor times-diffraction-limited beam waist beam width 引 言 Niu Yanxiong,Wang Yuefeng,Liu Xin,Zhang Chu (College of Ordnance Engineering,Shijiazhuang,050003) Zhu Shoushen (School of Ordnance Engineering,Wuhan,430064) Abstract:The quality factor of a laser beam often is characterized by parameter M2.In our measurement system,we employed a CCD sensor to detect the beam profiles at different location in beam propagation direction,then utilized the data identification to calculate factor M2.This paper give out the measurement results and tolerance limits. Key words:beam quality factor times-diffraction-limited beam waist beam width 引 言 激光束质量是激光器的一个重要的技术性能指标,对于其应用是至关重要的,例如,高质量的光束在很大程度上可提高激光武器的作战参数,因此,激光束质量的评价是近年来国内外研究的热点之一。评价光束质量的标准问题长期困扰着光学界,评价光束质量的方法曾采用聚焦光斑尺寸、远场发散角、β值和斯特列尔(Strehl)比[1]等,这些方法各有优缺点,长期以来未占主导地位,未能形成统一的评价激光束质量的标准。1988年,A.E.Siegman利用无量纲的量——光束质量因子 M2较科学合理地描述了激光束质量,并由国际标准组织(ISO)采纳。 M2克服了常用的光束质量评价方法的局限,对激光光束的评价具有重要意义。 我们对激光束质量的评价方法和激光束的自动测量系统进行介绍,对He-Ne激光束质量因子M2进行测量,给出了测量的不确定度。1 激光束质量因子M2的概念及测量的方法 1 激光束质量因子M2的概念及测量的方法 1.1 激光束质量因子M2的概念 M2因子被称为激光束质量因子或衍射极限因子,其定义为:  对于基模(TEM00)高斯光束,有M2=1,光束质量最好。实际光束M2均大于1,表征了实际光束衍射极限的倍数(Times-diffraction-limited)。光束质量因子M2表示为[3]: M2=πD0θ/(4λ)] (1) 式中,D0为实际光束束腰宽度,θ为光束远场发散角。 M2参数同时包含了远场和近场特性,能够综合描述光束的品质,且具有通过理想介质传输变换时不变的重要性质。由(1)式可知,对激光束质量因子M2的测量,归结为光束束腰宽度D0和光束远场发散角θ的测量。 1.2 激光束宽D的定义和束腰宽度D0 对光束束宽的定义有多种,如半强度定义、1/e2强度定义等,较严格而通用的是强度矩量分析法,即光束束宽正比于光束横截面上光强分布的二阶中心矩(方差),在直角坐标系中,光束在Z处能量/功率密度分布函数的二阶矩表示为: 
(2) 
(3) 式中, , 是光束横截面归一化的能量/功率密度分布函数的一阶矩,其表达式为: 
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(5) 在Z处,x方向和y方向光束束宽Dx和Dy表示为: Dx=4σx(z); Dy=4σy(z) (6) 光束束宽最小处即为光束束腰D0,其位置为Z0。 假如光束束腰能够直接测量,可沿光束传播轴Z测量不同位置的束宽D,然后利用双曲线拟合来确定光束束腰的大小和位置。双曲线拟合公式如下: D2=A+BZ+CZ2 (7) D2x=Ax+BxZ+CxZ2 (8) D2y=Ay+ByZ+CyZ2 (9) 确定系数A,Ax,Ay,B,Bx,By,C,Cx,Cy后,束腰的位置Z0及宽度D0表示为: 
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(11) 如果束腰的宽度和位置不能够直接测量,可利用一无像差的聚焦透镜,对激光束进行变换,测量变换后不同位置Z处的光束束宽D′,然后利用公式(7),(8),(9)确定双曲线模拟公式,由公式(10),(11)求出模拟腰斑直径D′0和位置Z′0。再根据透镜的成像性质,求出实际光束的腰斑直径D0和位置Z0,如图1所示。 |