光电工程师社区

标题: 讨论一种新镀膜机,帮我解惑,谢谢 [打印本页]

作者: huang12949 时间: 2007-8-1 20:12
标题: 讨论一种新镀膜机,帮我解惑,谢谢
当然也说不上新了,好多年前都有人在搞这个东西了.
倾斜式行星基底固定架,一腔室中有三个这样这样的架子,如果放平了呢就是三个圆屋顶式基底架,这样的三个倾斜架,如何调整膜均匀呢?修正板我想是没地方可装了.
我看到一款机是这样的,并且有一电子枪是放在中间的,试镀出来的三个倾斜的圆架子中间膜色基本一致,但每个架子的边缘膜薄,怎么样调整呢?我认为只能从架子的倾斜度,转速,电子枪的蒸发角度,如果热镀的话再考虑下加热系统
,大家讨论下.
另外电子枪放在中间,我也是比较纳闷,按道理蒸发源中腔体中心轴距离应该是架子的中心位置(一般也就是比较片位置)与腔底中心位距离的1/3,可是他却放在中间,按照膜分布推导公式推出,枪源在中心位置镀出的效果等同于平行圆顶式不加修正板镀出中间膜厚均匀,周边不一致.放在中间只有一个效果,避免了蒸发料打在腔壁上反弹到基底上,破坏基底的品质.对于用户来讲,限制了制品扩展.

所以,请大家讨论.帮我解惑.谢谢

作者: huang12949 时间: 2007-8-1 20:28
全是资料下载的,没办法,自己先顶一下子

作者: x_x_x_f 时间: 2007-8-2 10:10
这种机器的枪就应该在中间的。按照均匀性理论，如果电子枪在镀膜的工件盘构成的圆的圆弧上，那么枪就应该放中间；如果枪在镀膜工件盘的圆的直径上，才要放在1/3处。
欢迎探讨：x_x_x_f@sina.com

作者: tfc 时间: 2007-8-2 10:30
3#说得对.但也并非一定要中间.均匀性是完全可以解决的.但比较麻烦.有镀膜机厂想搞好,化很多时间\成本都没搞好.技术这东西,不说,值很多万钱,说了,就只值一餐饭了.所以要先定价.知识产权.

作者: huang12949 时间: 2007-8-2 11:05
好，4#说出来，我请你吃饭好了，呵呵
我不是搞设备的，从相关设备宣传资料上看到，所以想了解了解。
我请教过一位老工程师，他说年轻的时候用计算机做过理论推导，无论是哪种结构，电子枪放中间意义都不大。而且在镀反光碗时只能镀中间部分可以镀到，边缘大部分薄膜不均。镀平面镜可以。
所以我所知道的减小架子倾斜角度，改变枪的蒸发角度（即枪的位置）和公自转的速度比以外来调整膜均匀，哪么是否还有另外的方面呢？

作者: huang12949 时间: 2007-8-2 11:16
再看各个厂家光学镀膜机资料，日本机没有这种结构，韩国机有大部分是平行式行星结构，国内就看到南光有。
从用户的角度来讲，我不喜欢，除了产量多一点，理论上均匀性好一些一外，工件上下是不是很麻烦？制品在镀制中翻来覆去会否增加表面不良？3#也讲了，均匀性调整也是非常麻烦的，在批量生产中均匀性是否像圆拱式结构一样经常调整均匀性？
再回到问题的中心点：如何调整膜厚均匀性？每个架子的中间2/3区域的膜均匀我不怀疑，边缘呢？

作者: huang12949 时间: 2007-8-2 11:18
我希望坛子是互动的，缺少了互动的坛子是没有灵性的坛子！

作者: tfc 时间: 2007-8-2 16:16

原帖由 huang12949 于 2007-8-2 11:16 发表
再看各个厂家光学镀膜机资料，日本机没有这种结构，韩国机有大部分是平行式行星结构，国内就看到南光有。
从用户的角度来讲，我不喜欢，除了产量多一点，理论上均匀性好一些一外，工件上下是不是很麻烦？制品在 ...

这种机器是镀高产低单价的产品,日本做高暴利机器,自然你看不到,韩国机价在与进口机之间,也看不到.国内有多少镀膜机厂家就有多少人做这种机器.莱宝就有,只是国产发展到过头点。你不喜欢可能是没怎么用过也没真心挖它的潜力.

作者: tfc 时间: 2007-8-2 16:27

原帖由 huang12949 于 2007-8-2 11:05 发表
好，4#说出来，我请你吃饭好了，呵呵
我不是搞设备的，从相关设备宣传资料上看到，所以想了解了解。
我请教过一位老工程师，他说年轻的时候用计算机做过理论推导，无论是哪种结构，电子枪放中间意义都不大。而 ...

你请教过的工程师思路不够广或者是专于用理论来解释。其实关于均匀性，理论目前是不够精确的，因为均匀性多是动态的。实践才是验证标准。反光碗如果很凹，机器会更复杂，现在我就设计了让厂家做。
另外，如果要噌饭，在镀膜机厂早吃饱了。现在我即使不教，他们也同样请我的。

作者: tfc 时间: 2007-8-2 16:31
楼主说的均匀性，相对公自转关系不大。

作者: huang12949 时间: 2007-8-2 19:56
TFC兄.你太牛了,哈哈
这种机我是没玩过,去年在光博会上见到宣传资,一直想看看,从图片上看,我感觉修正板应该是不存在的了,可是枪源的位置又固定死了,想不透,我还在想是不是要把电子枪朝边上挪挪?
TFC兄是专家,但是我想应该不属于保密的吧,因为用户买机子,你们肯定要培训的撒.要不哪位用过这样的机子的兄弟来说道说道?

作者: huang12949 时间: 2007-8-3 10:13
殷切等待中。。。。。。请大侠们解答让我学习学习。

作者: tfc 时间: 2007-8-3 15:53
huang12949老兄台举了,我是搞镀膜的,不是镀膜机厂的.那种机器是主要用于镀低值塑胶,也有人用在玻璃上.要修正板可以要求厂家装

作者: huang12949 时间: 2007-8-3 19:35
如果要装的话装在什么地方呢?
装在基底下面吧,好像没意义,因为枪源在中间,修正板从腔壁伸到腔体中心,又挡住了光控光通,如果不伸到腔体中心下方,修正板又没有什么意义了,除非不用光控,晶控探头安在腔体中间靠冷阱排气处的基底下面,
但是从图片上看,好像三个圆屋基底架围绕的腔体中心是空白区域,这样修正板搞短一点好像在实用中也没有什么影响.......
唉,有机会玩玩这样的机子才能深有体会,现在都是瞎猜想.(看的图片也只是冰山一角,半遮半掩的,靠)
感谢TFC兄的解答.
修正板这个东西,我吃过它的一次亏,有一次有个伙计镀出后整个光谱向短方向偏移NG,得到消息后,试镀,当时还想不明白,还以为是参数出了问题,调整监控波长,试镀有点起色,再调,但还是有点纳闷,等待中玩弄监控片,突然发现监控片约1/3没有镀上膜,赶紧退出检查,原来有位伙计打修正板时没打到位,致使修正板突到光控光源通过光路上,这鸟人们也是搞熟练了也是懒了,上下伞都不动修正板,让它支在哪,谁成想却是没打到位,修正板打正后恢复正常.

作者: huang12949 时间: 2007-8-3 19:40
当时玩的机是昭和平行圆拱形结构的机子.包括现在玩的国产机子也是平行圆拱式结构,一般其它没什么改变的情况下,都是调修正板,难道行星架也是主要调修正板吗?
照TFC兄讲的好像不装修正板也是可以的哦?
TFC兄,你们的回复让我收获蛮大,谢谢.

作者: zzzz 时间: 2007-8-4 08:09
只要星星面位于等厚面上就没啥问题了.
这种机器的容量很大,适合量产.

作者: huang12949 时间: 2007-8-4 12:41
星星面(是不是行星面?),等厚面是是指哪个地方?
请教ZZZ兄台说的详细点,谢谢

作者: huang12949 时间: 2007-8-6 08:34
一天没来竟然找不到这个贴子了，太离谱了。

作者: huang12949 时间: 2007-8-7 12:27
再顶!

作者: huang12949 时间: 2007-8-7 18:33
据说目前玻璃在铸型时加了颜料后在某个波段可以实现吸收截止。有哪位采购过，帮我推荐下子，我需要采购。

作者: banchao 时间: 2007-8-7 19:07
好帖子顶起来

作者: huang12949 时间: 2007-8-8 10:51
这玩意沉的太快了.

作者: huang12949 时间: 2007-8-9 18:15
不断的顶.
不让他在沉默中沉沦

作者: huang12949 时间: 2007-8-11 11:26
已经找到有色玻璃了，虽然数据合不上，但加几层镀膜就搞定了。

作者: huang12949 时间: 2007-8-13 18:27
回去了两日,再来发现坛子改版了..

作者: huang12949 时间: 2007-8-15 18:49

用力的顶呀

作者: jhxxmlhk 时间: 2007-9-30 13:04
看你们讨论的蛮热乎的.偶接触过平面的行星式DOME的LP机,辅正板很小,就在DOME下面,蒸发源在边上,位置和其他机器比没什么两样.或许几个蒸发源同时镀可以哦.2亿RMB的镀膜机听说过吗?呵呵...

作者: XIANL 时间: 2007-10-5 10:12
大家真是厉害啊,怎样才能赶上你们呢,郁闷

作者: shangdong 时间: 2007-10-6 00:36
光学小学生学习中
做了２年镀膜了
不过是操作机器
想学点东西

作者: skyperfect 时间: 2007-10-7 16:18
多元行星盘还是要加修正板的，不加的话如何修正反光碗，镀出来的反光碗肯定是一半厚，一半薄。反光碗越深越难修正，这是肯定的。

作者: CTMD 时间: 2007-10-8 12:28
学习中.......

作者: huang12949 时间: 2007-11-9 21:12
这次帮朋友调机子终于接触到倾斜式行星结构了。
朋友要镀一些小珠子，用这种结构的机子来镀，但是客户却用平行圆拱式结构机镀出来的样品来衡量均匀性。
他镀的是小圆珠子，密密的聚集在一块一块的平板上，这样的平板帖在三个圆形的倾斜的锅上，但是镀出来圆珠子有部分边缘镀的比较薄，也就是均匀性不好，我尝试调整离子源角度，加大离子轰击能量，期望能借助离子源来获得较好的均匀性，有少许改良但仍然有不均匀性。

电了枪的位置原来在锅的边缘上，但镀出效果很不理想，我把枪向中间移动（基本上处于1/3中心位置），试底后也只是有所改良，要完全或者是比较理想的均匀性（尤其是拱面较高的圆珠）感觉不太可能。

作者: kinlee 时间: 2008-1-7 15:22
先支持一下,以后再来学习.目前不是很懂.

作者: richjieyu 时间: 2008-4-11 16:11
行星结构，倾斜轮盘，枪应该放中间，不用修正板。到各个距离基本是一样的。所以蒸发速率也差不多。要么旧在枪和轮盘对角最近的地方放修正板。。估计形状是空心圆那样的号点。

作者: nation 时间: 2008-7-1 05:09
国内有做这种镀膜机的多到厂家去看看，

作者: tfc 时间: 2008-7-1 09:13
32楼的朋友：
你用滚桶式行星盘吧。或者磁控机。

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