OptiLayer 薄膜设计软件V8.85 新特性

yang1268 · 发表于 2011-7-7 23:17:43

1.在设计列表中加入了Formula Constrained Optimization项

该特性允许用户通过包含整型变量及连续优化参数的设计公式来实现设计优化。该选项全面涵盖了基于等效层的设计技术，可广泛应用于与啁啾镜及X射线元件有关的设计问题。

2.主设计程序的改进

在设计过程的初始阶段，针式优化程序能够更高效的执行，尤其是在某些设计层厚度固定的复杂情况下。在诸如太阳能电池领域的应用中，要求考虑光波在强吸收层中的传播特性。精确计算包含强吸收层的多层膜系通常比较棘手，需要从根本上对主计算程序作修改。新版本的软件已对此做了修改，并且计算速度更快。OptiLayer进一步扩展了优化列表，并且实现了Quasi-Newton DLS 等更高效的方法。非均匀优化模式现在也能同Integral Target一起工作。

3.色度分析及设计模式方面的根本性的革新

由于采用了新型绘图工具，比色图的绘制速度显著加快，并且图表窗口能同时显示附加信息。CIE（1931）和CIE（1976）彩色空间的比色图支持缩放操作。不同的色度评估参数用不同的标记表示，色度设计目标能够在比色图上显示出来。在执行计算的同时，能够打开Color Coordinates窗口。此外，设计目标中还添加了Color Range项。这一新的设计目标由Chromaticity, CIE YU'V' 1976, CIE YU'V' 1960, Hunter Lab, CIE L*a*b*, CIE L*u*v*等色彩空间描述。为了简化设置目标的色彩范围，色彩目标编辑器中增加了一个特殊的目标编辑器。

4.关于OptiLayer的production yield analysis 项

在Error Analysis和Error Yield Analysis项的Error Analysis Setup设置窗口，现在允许分别指定绝对误差（RMS列）及相对误差(Rel.RMS%)。这两类误差分别是由不同的因素造成的，并且由其它各种因素造成的附加误差特性与实际生产密切相关。在所有Error Analysis和Error Yield Analysis项中，最大的测试次数从9999增加到了999999。新的Color Range Targets也能够用于production yield analysis。如果多边形色彩范围（设计目标）被加载到内存，Error Yield Analysis项将通过随机生成的生产误差自动分析设计方案的色彩特性。这一分析结果位于附加的 Yield Analysis of Color Coordinates 窗口。它由一系列的标记表示，如果色彩坐标对应的是内部多边形，则显示为暗绿色，如果对应的是外部多边形，则显示为红色。新的Color Range Targets功能可用于Broadband and Monochromatic Yield Analysis项。误差分析模式下，在Error Analysis Setup 窗口内能够激活Include Color Error Analysis 项。如果选中该项，设计方案的彩色特性分析结果及随机生成的厚度误差将被列示在附加的Error Analysis of Color Coordinates 窗口内。如果with CRI复选框同时被选中，程序将会评估Color Rendering Index。色彩误差分析结果在Color Diagram表中由一系列标记表示，同时它也可由Spreadsheet中的统计参数来描述。

5.Ellipsometric Angles evaluation项能够与常规的Tan(Psi), Cos(Delta)及Delta Folded等椭偏偏振特性一起显示。

Delta Folded特性定义如下：Delta Folded = Delta 当 Delta < 180 ，Delta Folded = 360-Delta 当Delta > 180。在软件中引入这一特性的主要原因是因为有些椭偏仪只提供folded Delta angle。Tan(Psi), Cos(Delta)和Delta Folded ellipsometric angles同样可用于OptiChar and OptiRE模块。

6.引入了Line Width 数据库

该数据库允许用户存储对仪器谱线宽度的设置，线度由波长来决定。如果Line Width 数据库中的某一项被加载，所有的评估和设计计算将考虑线宽设置。

7.为了满足持续增加的高级用户的需要，能够被用于 OptiLayer 和OptiRE 模块的最大层材料数已经从128 增加到了 999。这允许用户考虑某些特定的设计和分析问题，例如褶皱膜和类褶皱膜的设计。

8.根据客户的建议，新版本对软件的易用性做了多处修改。Analysis菜单下的Averaging项对应的Averaging窗口，包含了平均值及特定谱线范围内的光谱特性最大最小值。工程文件的管理更加符合逻辑，只有在保存（Save As）完现有工程时才能创建新的工程。这就防止了丢失现有的工程文件。

9.导入导出功能方面的变化

OptiChar和 OptiRE现在能够支持导入Sopra 椭偏数据文件。Sopra数据文件包括Tan(Psi) 和 Cos(Delta) 数值。为了直接处理这些数据，已经将Tan(Psi) 及Cos(Delta)增加到了椭偏特性列表。OptiChar 和OptiRE同样支持从 Sentech (http://www.sentech.de/)椭偏仪直接导入数据文件。模块中用于导入 Woollam 数据文件的选项也允许直接导入R/T 数据。在OptiLayer、OptiChar 和OptiRE中，XY导入项增加了为导入操作指定入射角的功能。同样的，在OptiChar 和OptiRE中，这一功能可用于Perkin Elmer, JCAMP-DX 及Varian 数据的导入操作，并且导入Varian文件操作有了本质的改进。现在Varian 导入对话框变成了无模式对话框，这就允许用户导入多组追迹数据而不需要重复打开和配置导入对话框。在导入操作期间，被导入的目标文件能够被改变，并且不同的追迹结果能够被追加到不同的测量数据文件。从任意的ASCII文件导入数据将比以前更加方便。默认情况下，ASCII文件是自动列对准的。在OptiLayer中，用于导入Essential Macleod 文件目标值和堆栈数据的选项也可以导入并转换OptiLayer格式。Leybold 监测报告能够被导入而不需要预先创建监测表单。如果没有生成这样的扩展表单，OptiLayer将会根据默认值监测所有设计膜层的波长。

10.OptiChar 和 OptiRE 引入的扩展功能

这两个程序现在能够处理综合考虑了与样品内层反射相关的退偏效应的椭偏仪测量数据。退偏效应造成了椭偏角Psi 、Delta 及某些现代椭偏仪的改变。例如，考虑到上述效应，Woollam 椭偏仪直接提供退偏数据。因此OptiChar和OptiRE的Measurement 编辑器现在能够在测量数据文件中给定退偏数据。如果Woollam数据文件提供退偏数据，则Woollam 导入项能够将这些数据提取出来。由于具备了选择n(lambda) 和k(lambda)不同波长格子的能力，OptiChar 及 OptiRE的一般非参数折射率及消光系数模型将变得更加柔性化，该选择项包括 "Linear"，"Logarithmic"及"Inversely Proportional" 等格子类型。

11.OptiRE 修改和增加的功能

为了支持用户熟悉OptiRE 模块自动化特性，软件包中加入了Delphi 自动化的示例。General Information窗口可以更方便的管理single-scan 和multi-scan测量数据。如果测量数据被Preprocess Measurement Data项修改了，窗口将显示修改状态。假设测量数据文件被修改了，General Information 窗口允许用户卸载或重新加载这些文件。当应用了multi-scan数据，程序同样能够立刻重载所有数据文件。包括Index Drifts 复选框被增加到Refractive Indices 窗口。选中它后，用户不仅可以采用柱条表示法，而且也可以采用直接折射率表示法，来检验折射率的偏移。如果Refractive Indices Correction 窗口中的Drift in time 项被选中，包含所有层折射率的光谱表示法适用该偏移选项，因为他们的折射率可以是不同的。在 Thickness Errors，Refractive Index Drifts及Inhomogeneity窗口，各层都使用了编号。与某一类膜材料相关的层将根据它们在这一材料的膜层子集中的顺序标号。以百分数表示的相对厚度误差和不均匀度与对应的扩展表单描述相一致。

12.OptiLayer所有程序的内部文件结构完全被转换成压缩的XML格式

从当前版本开始，软件将为所有版本的文件提供双向兼容性。在这之前，新版本软件能够读写由老版本创建的文件之前，但是反之则不能。从这一版本开始，老的版本也将能够读写新版本创建的文件。对于那些拥有多个版本认证号的客户来说这一点尤为重要。不同版本的OptiLayer用户将能够互相交换数据文件而不存在文件兼容性问题。

详情请参考 http://opturn.blog.sohu.com/entry/5976199/

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yang1268 · 发表于 2011-7-7 23:17:54

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