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标题: 我该怎样测量膜厚？ [打印本页]

作者: michaelzhj 时间: 2004-10-15 05:07
标题: 我该怎样测量膜厚？

我该怎样测量膜厚？

1. 用光学干涉仪测量需要镀膜前做一个台阶，而这样的话，破坏了膜，以后将无法测量红外透过率。

2. 采用透过率曲线中的波峰波谷计算。这里我遇到一个问题。我镀的是AlN 膜，在3350波数处总有一个波谷（我猜测这个波谷是AlN膜的特征吸收峰），因为各个工艺参数不同，波峰位置可能不太一样，请问是不是可以籍这相邻的波谷波峰来计算各个参数下的膜厚度呢？吸收峰可以用来作为膜厚测量的依据么？根据那个计算膜厚的swane method公式，厚度不同那么波峰波谷应该是处于不同的波数处的。谁来教我？

3.谁有更好的测量膜厚的方法？

作者: michaelzhj 时间: 2004-10-17 19:09

没人理我？

作者: 在光学里游荡 时间: 2004-10-18 23:58
如果是厚膜，比方在微米级，可以考虑棱镜耦合仪的方法

作者: michaelzhj 时间: 2004-10-19 05:07
一个棱镜耦合仪得多少钱？破坏不破坏膜层？

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