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型号:AC-4型 技术指标:品牌:黄金屋 生产厂家:深圳市黄金屋真空科技有限公司 生产产地:深圳 适用范围:主要用于表件及小五金件表面镀制氮化钛(TiN)膜(仿金层),真空炉内掺金(IPG)膜(TiN+Au)及其他高档装饰膜。 产品说明:特点
* 镀膜室均采用箱式开门水环冷却不锈钢壳体结构,工件装卸方便。
* 配置性能更先进的ARC100型电弧蒸发源和旋转式磁控溅射靶。Au靶更换非常方便,靶材利用率可达70-80%,成膜质量好。
* 应用可编程控制器(PLC),自动或手动任选,设有多重自我保护系统。
* 炉体多用,既适用真空炉内直接镀金,又可用于TiN+Ni(AB镀工艺),还可用于磁控溅射反应镀制其它膜层。
AC-4型主要技术参数
* 镀膜室尺寸:700(L)×700(W)×810 (H)mm3 水环式冷却水不锈钢壳体
* 有效装件尺寸:¢145 mm(D)×600mm(H)×8轴
* 工件架旋转方式与速度:行星式(公自转) 0.5~3 r/min
* 镀膜室极限压力:2~2.5×10-3Pa(空载、清洁)
* 恢复工作压力时间:从大气抽至8×10-3Pa≤20min(空载、清洁)
* 烘烤加热:室温~250oC加热功率:6KW
* 电弧蒸发源:1~2KW/个,Arc100型或Arc60型4个
* 轰击电压:0~1000V
* 工作偏压:0~300V,~15A
* 工作周期:60~90min
* 供电电源:三相四线380V±5%,50—60Hz,功率不低于30KW
* 压缩空气:0.4 ~0.6Mpa
* 冷却水:0.2~0.3Mpa,≤25oC,4m3/hr
* 主机占用空间:2750L×2700W×1900H mm3
* 主机总重量:2700kg
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